TMC主動隔振平臺STACIS III

STACIS® III是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS采用先進(jìn)的慣性振動傳感器、先進(jìn)的控制算法和*先進(jìn)的壓電致動器，通過連續(xù)測量地面活動，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動器來過濾地面運(yùn)動，以實時消除振動。

STACIS最初設(shè)計用于隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中最敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

STACIS III包括一個全新的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的高級控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在全球已擁有數(shù)百個成功的安裝案例，是理想的隔振系統(tǒng)，適用于對振動最為敏感的儀器。

TMC主動隔振平臺STACIS III的優(yōu)勢

STACIS比空氣隔振器硬數(shù)百倍，沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟”懸架，與主動空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個系統(tǒng)都在最佳狀態(tài)下運(yùn)行。

*特的串行設(shè)計和專有的高力壓電技術(shù)，可實現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的*越主動隔振性能。

主動隔振光學(xué)平臺系統(tǒng)STACIS III特征

●最新改進(jìn)型DC-2020數(shù)字控制器，提供易于使用的圖形用戶界面

●隔振開始于0.6赫茲，1Hz時達(dá)到40％至70％的隔離率

●頻率2赫茲和更高時，垂直和水平隔振率大于90％

●降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本，即使有較大外界震動設(shè)備也可正常運(yùn)行

●有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz

●獲得眾多用戶的廣泛認(rèn)可和肯定

●6向自由度硬安裝設(shè)計，無需空氣懸架

●強(qiáng)大的控制系統(tǒng)無需定期重新校準(zhǔn)

●point-of-use設(shè)計方案，與客戶現(xiàn)有隔振系統(tǒng)無縫兼容

●隨著外部環(huán)境改變，系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動情形

●TMC的STACIS®技術(shù)使用壓電執(zhí)行器主動消振

●數(shù)字控制器與基于PC的圖形用戶界面（GUI）

●提高客戶產(chǎn)品產(chǎn)量、質(zhì)量、成品率。

●符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

●最寬的主動隔振帶寬，*美的低頻隔振效果

●亞赫茲的主動震動消除，最主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振

●可堆疊式設(shè)計

●主動硬式安裝結(jié)構(gòu)、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連

●被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負(fù)載諧振，需要的調(diào)諧非常少，甚至無需調(diào)諧

●由于阻抗不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器

●負(fù)載可達(dá)2000kg

●市場上*美的主動隔振系統(tǒng)

性能

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動來測試4500磅（2045千克）有效載荷

性能規(guī)格

隔振器設(shè)計、尺寸、環(huán)境和效用要求

                                                       DC-2020控制器規(guī)格

STACIS用戶及應(yīng)用領(lǐng)域

1、微電子、半導(dǎo)體

●晶片檢測

●顯微光刻技術(shù)

●掩膜校準(zhǔn)

2、科學(xué)研究、納米技術(shù)

●SEM、TEM

●STEM、SPM

3、激光臺

●生命科學(xué)、藥物研發(fā)

4、工業(yè)應(yīng)用

●精密加工

為什么要選擇主動系統(tǒng)？

●從<1Hz開始強(qiáng)烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振

●提高質(zhì)量、生產(chǎn)量

●更加細(xì)小特色的成像能力

●前沿研究

●比氣動平臺更穩(wěn)定

●滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點安裝參數(shù)的*一解決方案

●使得新實驗室及研究設(shè)備的工程造價更低

主動系統(tǒng)為何選擇STACIS

●正中了科研者的的心聲，提供了盡可能*美的無震環(huán)境。

●市場上*美強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。

●目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動參數(shù)需要主動隔振系統(tǒng)才能滿足。

●STACIS*次發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開發(fā)和安裝了數(shù)以千計的主動隔振系統(tǒng)，這是主動隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍

穩(wěn)定時間作為對擾動的響應(yīng)，由于*特的串聯(lián)式設(shè)計，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

如下優(yōu)勢在業(yè)內(nèi)都是*與倫比的

●STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

●6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB

●從2-3Hz時，隔振可達(dá)90% (20dB)

專業(yè)的環(huán)境調(diào)查

1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動、磁場、聲波

2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證

●完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)

●開具專業(yè)環(huán)境報告

●提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

●TMC基于其廣泛經(jīng)驗向用戶推薦實用性方案

●40多年的行業(yè)經(jīng)驗，業(yè)內(nèi)的*導(dǎo)者

應(yīng)用照片