BrillianSe非晶硒高分辨X射線探測(cè)器_用于XCT及同步加速器

BrillianSe直接轉(zhuǎn)換高精度X射線探測(cè)器

加拿大KA Imaging推出了其專有的無定形硒（a-Se）BrillianSe™X射線探測(cè)器，用于高亮度成像。這款混合a-Se/CMOS的探測(cè)器采用具有高固有空間分辨率的a-Se光導(dǎo)體，可直接將X射線光子轉(zhuǎn)換為電荷。然后，低噪聲CMOS有源像素傳感器（APS）讀取電子信號(hào)。無需首先將X射線光子轉(zhuǎn)換為可見光（這在間接閃爍體方法中是必需的），因此不需要減薄轉(zhuǎn)換層以減少光學(xué)散射。BrillianSe™提供了一種du 特的組合，使用8微米像素實(shí)現(xiàn)高空間分辨率，以及具有高達(dá)120 keV的能量的高探測(cè)量子效率（DQE）。這種組合可實(shí)現(xiàn)在低通量和高能量條件下進(jìn)行高效成像，并可進(jìn)行基于傳播的（無光柵）相位對(duì)比增強(qiáng)，以提高低密度材料成像時(shí)的靈敏度。BrillianSe™ X射線檢測(cè)器具有1600萬的像素（16M）。

主要應(yīng)用

?低密度材料相差對(duì)比邊緣增強(qiáng)

?單光子靈敏度(>50 keV)

?同步加速器、微納CT等X射線探測(cè)系統(tǒng)，替換其原有探測(cè)器或搭建系統(tǒng)

?高能量(>50 keV)布拉格相干衍射成像

技術(shù)介紹

直接轉(zhuǎn)換技術(shù)允許使用厚轉(zhuǎn)換層，并以?填充因子運(yùn)行，以獲得高 DQE。在60kVp（2mm鋁濾波）下，BrillianSe™具有市場(chǎng)ling 先的高 DQE（10 cycles/mm時(shí)為36%）和小點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)（PSF）（1.1 像素）的組合。這有助于低通量應(yīng)用成像，例如X射線衍射、劑量敏感的蛋白晶體學(xué)以及對(duì)有和無相位對(duì)比的材料進(jìn)行受通量限制的成像。在63keV 時(shí)，MTF在 Nyquist（奈奎斯特）頻率下為10%。此外，在低能量（21 keV）下，使用透射條形靶標(biāo)樣可展示8微米的分辨率。

JIMA空間分辨率標(biāo)樣(21kev)的BrillianSe圖像。數(shù)字表示以微米為單位的條寬。左側(cè)為橫截面8μm的圖案

應(yīng)用案例

BrillianSe高分辨X射線探測(cè)器具有16M像素，采用直接轉(zhuǎn)換專有技術(shù)，對(duì)樣品進(jìn)行“吸收襯度+相位襯度”成像，大幅度提高樣品中的低密度成分成像時(shí)的靈敏度，可用于硬x射線包括同步加速器線束。探測(cè)樣品案例，如：芳綸等復(fù)合材料（Kevlar）、腦支架、硅通孔(TSV)、牙簽、甜椒種子、藥物膠囊、輕質(zhì)骨料（混凝土）等。

甜椒種子有相襯成像和無相襯成像（僅吸收襯度，無相位襯度）之對(duì)比

采用BrillianSe高分辨直接轉(zhuǎn)換探測(cè)器的X射線探測(cè)系統(tǒng)應(yīng)用場(chǎng)景舉例

?表征材料微觀結(jié)構(gòu)

?對(duì)現(xiàn)有零件幾何形狀進(jìn)行逆向工程

?驗(yàn)證或校準(zhǔn)仿真工作流

?應(yīng)用到NDT(無損檢測(cè))和GD&T(幾何尺寸和公差)檢驗(yàn)方案

?監(jiān)控生產(chǎn)過程

?確定問題的根本原因