ELEDE® 380系列芯片刻蝕機

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產(chǎn)品標簽

芯片刻蝕機 ELEDE® 380系列北方華創(chuàng)

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機，先進的等離子體發(fā)生裝置，適用多種材料刻蝕，工藝窗口寬。

2. 設備用途/原理

先進的等離子體發(fā)生裝置，適用多種材料刻蝕，工藝窗口寬。多片式托盤，實現(xiàn)高產(chǎn)能，同時確保優(yōu)異的刻蝕均勻性。全路徑全真空，全自動晶圓傳輸，顆粒控制優(yōu)。工藝套件設計，更長的耗材壽命。

3. 設備特點

晶圓尺寸4、6 英寸及特殊尺寸。適用材料藍寶石、氮化鎵、氧化硅 / 氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氧化硅、氮化硅、鈦鎢、有機物。適用工藝 PSS 刻蝕、電刻蝕、深槽隔離刻蝕、介質(zhì)反射層（DBR）刻蝕、紅黃光刻蝕、鈍化層刻蝕、金屬阻擋層刻蝕。適用域化合物半導體。