AL-1 無針孔薄膜沉積設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 SAMCO
- 型號 AL-1
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/6 11:36:36
- 訪問次數(shù) 189
產(chǎn)品標(biāo)簽
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1. 產(chǎn)品概述
AL-1通過交替向反應(yīng)室提供有機金屬原料和氧化劑，僅利用表面反應(yīng)沉積薄膜，實現(xiàn)了高膜厚控制和良好的步驟覆蓋率。薄膜的厚度可以控制在原子層的數(shù)量。此外，可以在高寬比的孔內(nèi)壁上沉積覆蓋性好、厚度均勻的薄膜。可同時沉積3片?4英寸的晶片。
2. 設(shè)備用途/原理
用于下一代功率器件的柵氧化膜和鈍化膜。在3D結(jié)構(gòu)上形成均勻的薄膜，如MEMS。激光表面的沉積。碳納米管的鈍化膜。
3. 設(shè)備特點
成膜效率高，通過提供幾十毫量的脈沖，減少了原材料的損耗，提高了沉積效率。真空清潔，溫度不均勻性小，通過緊貼反應(yīng)室內(nèi)壁的內(nèi)壁加熱器，抑制反應(yīng)室的溫度不均勻，可獲得清潔的真空。無針孔成膜，由于多種驅(qū)體在反應(yīng)室中沒有混合，因此可以防止顆粒，形成無針孔的薄膜。
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