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半導(dǎo)體缺陷檢測(cè):自動(dòng)化顯微成像模組
- 公司名稱(chēng) 北京卓立漢光儀器有限公司
- 品牌 ZOLIX/卓立漢光
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/7/4 10:13:24
- 訪問(wèn)次數(shù) 482
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光譜儀,拉曼光譜,熒光光譜,太陽(yáng)能電池檢測(cè),位移臺(tái),滑臺(tái),光學(xué)調(diào)整架,電動(dòng)滑臺(tái),光學(xué)平臺(tái),光學(xué)元件
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè) |
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半導(dǎo)體缺陷檢測(cè):自動(dòng)化顯微成像模組
針對(duì)半導(dǎo)體集成電路工藝線從表面缺陷檢查到圖形尺寸測(cè)量等各環(huán)節(jié)自動(dòng)化視覺(jué)檢測(cè)需求。
產(chǎn)品特性和核心技術(shù):
激光自動(dòng)聚焦:
·自主研制的激光輔助離焦量傳感器。
·可在無(wú)圖案晶圓上實(shí)現(xiàn)精確自動(dòng)聚焦和表面跟蹤。
·輔以圖形邊緣識(shí)別,實(shí)現(xiàn)雙模式自動(dòng)調(diào)焦。
明場(chǎng)成像和照明系統(tǒng):
·自主研制的小型化科勒照明系統(tǒng)。
·照明視場(chǎng)均勻、無(wú)暗角,成像視場(chǎng)中心和邊角均有高對(duì)比度和解析度。
全自動(dòng)操作:
·全軟件控制,自動(dòng)調(diào)焦、尋區(qū)、切換物鏡……
供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)可控。
性能參數(shù):
激光自動(dòng)聚焦
顯微成像
不同倍數(shù)物鏡下典型成像效果