VPG 300 DI 無掩模直接成像儀光刻機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

高精度高分辨率

在線交流發(fā)送詢價進入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

產(chǎn)品概述：

PG 300 DI 是一款體積圖案發(fā)生器，為在 i 線光刻膠中直接寫入高分辨率微結(jié)構(gòu)而設(shè)計。它源自掩模制作工具，具有所有先進的 VPG 系統(tǒng)組件，能夠以高的精度和準(zhǔn)確度進行書寫。大寫入?yún)^(qū)域覆蓋。

寫入模式	一	二
寫作表現(xiàn)
小特征尺寸 [μm]	0.5	0.8
小行數(shù)和間距 [μm]	0.8	1.2
地址網(wǎng)格 [nm]	4	8
邊緣粗糙度 [3σ， nm]	30	40
CD均勻度 [3σ， nm]	50	60
2鼈層對齊（全局）[nm]	100	130
寫入速度 [mm2/分鐘]	340*	1020*
*快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但沒有規(guī)格
100 x 100 mm 的曝光時間2面積 [min]	39	17

系統(tǒng)特點
光源	355 nm 的高功率 DPSS 激光器
大基板尺寸和寫入面積	300 x 300 毫米2
基板厚度	0 至 12 mm （可根據(jù)要求提供其他厚度）
大曝光面積	300 x 300 毫米2
自動對焦	實時自動對焦系統(tǒng)（光學(xué)和氣動）
自動對焦補償范圍	高達 80 μm
流量箱	（閉環(huán)）溫控環(huán)境試驗箱
對準(zhǔn)和計量	用于測量和對準(zhǔn)的相機系統(tǒng)和軟件包
其他功能和選項	100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動處理和預(yù)對準(zhǔn)。光學(xué)邊緣檢測、頂部對準(zhǔn)以及可選的紅外和背面對準(zhǔn)。Zerodur® 載物臺和高分辨率差分干涉儀
系統(tǒng)尺寸
	系統(tǒng) / 電子機架
寬度 [mm]	2605 / 800
深度 [mm]	1652 / 650
高度 [mm]	2102 / 1800
重量 [kg]	3550 / 180
安裝要求
電氣	400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相
壓縮空氣	6 - 10 巴