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          產(chǎn)品展廳

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          BIO L+ 無掩膜光刻機(jī)

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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          深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

          致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

          公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

          1. 產(chǎn)品概述

          BIO系列是生命科學(xué)版的無掩膜紫外光刻機(jī),該設(shè)備具有更高的深寬比,能滿足生命科學(xué)域的特殊需求。它主要用于制備像微流控芯片之類的具有特定需求的樣品 。在微流控芯片的制造過程中,其高深寬比和高靈活性的特點(diǎn)得以展現(xiàn),可確保芯片的質(zhì)量和性能。這使得它成為生命科學(xué)研究和相關(guān)應(yīng)用中的重要工具。BIO 系列的出現(xiàn)為生命科學(xué)域帶來了新的機(jī)遇,有助于推動相關(guān)技術(shù)的發(fā)展和創(chuàng)新,為科學(xué)研究和實際應(yīng)用提供有力支持。

          特征尺寸1μm

          無掩膜光刻機(jī)

          高深比

          2. 應(yīng)用領(lǐng)域

          微流道芯片

          二維材料

          光學(xué)掩膜版

          MEMS器件

          灰度光刻

          特殊微納結(jié)構(gòu)

          3. 公司概要

          托托科技(蘇州)有限公司是一家注于顯微光學(xué)加工和顯微光學(xué)檢測域的公司,在基于數(shù)字微鏡器件的無掩膜光刻技術(shù)域中進(jìn)行了數(shù)年的深入研究和技術(shù)積累,其研制和生產(chǎn)的無掩膜紫外光刻機(jī)一經(jīng)問世,就受到了諸多客戶的青睞,在科研和工業(yè)域都有廣泛的應(yīng)用。例如,在微納加工域,可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等;在光電子域,可以用于制作光柵、衍射光學(xué)元件等。

          托托科技致力于設(shè)備底層技術(shù)的研究和積累,不斷尋求技術(shù)的突破,努力為客戶帶來更好的設(shè)備和更好的使用體驗,幫助客戶創(chuàng)造更高的價值。




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