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          織雀™PL-3D Premium 高精密微3D光刻機(jī)

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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          高精密微3D光刻

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          深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

          致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

          公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

          1. 產(chǎn)品概況

          織雀™PL-3D Premium 是托托科技自主研發(fā)的高精密微3D光刻設(shè)備, 高光學(xué)分辨率可達(dá)1μm,支持大50 mm×50 mm×50 mm的加工尺寸,設(shè)備還支持對準(zhǔn)套刻功能,可在已有結(jié)構(gòu)表面進(jìn)行多材料的駁接打印,在復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)、高深寬比微納結(jié)構(gòu)以及復(fù)合材料三維微納結(jié)構(gòu)制造方面具有突出的潛能和優(yōu)勢,而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需模具直接成型的優(yōu)點(diǎn)

          托托科技(蘇州)有限公司是一家注于顯微光學(xué)加工和顯微光學(xué)檢測域的公司,在基于數(shù)字微鏡器件的無掩膜光刻技術(shù)域中進(jìn)行了數(shù)年的深入研究和技術(shù)積累,其研制和生產(chǎn)的無掩膜紫外光刻機(jī)一經(jīng)問世,就受到了諸多客戶的青睞,在科研和工業(yè)域都有廣泛的應(yīng)用。例如,在微納加工域,可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等;在光電子域,可以用于制作光柵、衍射光學(xué)元件等。托托科技致力于設(shè)備底層技術(shù)的研究和積累,不斷尋求技術(shù)的突破,努力為客戶帶來更好的設(shè)備和更好的使用體驗(yàn),幫助客戶創(chuàng)造更高的價(jià)值。

          光學(xué)精度1μm

          打印層厚<5μm

          多精度鏡頭切換

          支持陶瓷材料

          對準(zhǔn)套刻4D光刻

          2. 應(yīng)用案例

          精密醫(yī)療器械

          消費(fèi)文創(chuàng)

          力學(xué)超材料

          微機(jī)械結(jié)構(gòu)

          微流道芯片 



          化工儀器網(wǎng)

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