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          LSA 201 環(huán)境控制激光尖峰退火設(shè)備

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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          激光退火退火爐

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          深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

          致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

          公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

          1.產(chǎn)品概述:

          Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火 (LSA) 系統(tǒng)具有與 LSA101 相同的架構(gòu),但包括獲得利的微室設(shè)計,可在掃描激光系統(tǒng)中實現(xiàn)全晶圓環(huán)境控制。該微室在于它不需要使用真空負(fù)載鎖。該系統(tǒng)能夠運行任何惰性氣體的混合物,包括合成氣體。LSA201 適用于高 k 金屬柵結(jié)活化和鎳硅化物形成等應(yīng)用。LSA201 非常適合 20nm 以下的工藝,例如環(huán)境控制至關(guān)重要的界面工程和材料改性。

          2.產(chǎn)品特點

          長波長、布魯斯特角、p 偏振光,可實現(xiàn)佳的芯片內(nèi)均勻性

          閉環(huán)溫度反饋控制,保持嚴(yán)格的溫度控制

          布局獨立設(shè)計,非常適合處理平面和 FinFET 器件

          具有靈活停留時間的局部應(yīng)力場可實現(xiàn)低應(yīng)力處理并減少晶圓破損。

          相關(guān)分類

          氧化擴(kuò)散設(shè)備


          化工儀器網(wǎng)

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