Wafer XRD
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 馬爾文帕納科
- 品牌 馬爾文帕納科
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/11/18 15:11:46
- 訪問次數(shù) 607
產(chǎn)品標簽
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價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 單晶衍射儀 |
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應用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
Wafer XRD用于全自動晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個晶圓臺
跨槽晶圓識別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測量速度:每個樣品<10秒
典型標準偏差(傾斜度):例如Si 100<0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點風冷X射線光管(**30W)或細焦點水冷X射線光管(**1.5kW)
符合CE標準的安全控制裝置
通過3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍寶石(Al?O?)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測量范圍:0.01至0.020Ωcm
自動識別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓