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GAMA Series 6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號(hào) GAMA Series
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/4 15:01:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 280
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1. 產(chǎn)品概述：
GAMA系列6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)滿足全部濕法工藝需求，覆蓋RCA、PR Strip、Solvent、Wet Etch等應(yīng)用，可用于典型0.35um、0.18um工藝節(jié)點(diǎn)，可支持90nm工藝節(jié)點(diǎn)，可兼容6寸和8寸晶圓。
2. 設(shè)備應(yīng)用：
晶圓尺寸
6、8 英寸
適用材料
硅，碳化硅，硅基氮化鎵
適用工藝
預(yù)清洗、去膠清洗、氮化硅去除、金屬去除(Co,Ti)、Recycle 清洗、拋光后清洗、Epi 前清洗、 Epi 后清洗
適用領(lǐng)域
集成電路、襯底材料、化合物半導(dǎo)體、功率半導(dǎo)體
3. 特色優(yōu)點(diǎn)：
北方華創(chuàng) GAMA Series 清洗機(jī)在腐蝕均勻性方面表現(xiàn)明顯。腐蝕均勻性對(duì)于保證芯片制造的一致性和穩(wěn)定性具有關(guān)鍵意義。
這款清洗機(jī)通過(guò)精心設(shè)計(jì)的流體流動(dòng)系統(tǒng)、化學(xué)溶液分布機(jī)制以及溫度控制策略，確保在整個(gè)晶片表面實(shí)現(xiàn)高度均勻的腐蝕效果。無(wú)論是在大面積的晶片還是復(fù)雜的圖形結(jié)構(gòu)區(qū)域，都能保持腐蝕程度的一致性。
可能采用了多噴頭均勻噴淋、旋轉(zhuǎn)式清洗等技術(shù)，使化學(xué)溶液能夠均勻地覆蓋晶片表面，避免出現(xiàn)局部腐蝕過(guò)度或不足的情況。同時(shí)，精準(zhǔn)的溫度控制系統(tǒng)能夠確保整個(gè)清洗過(guò)程中溫度的均勻性，因?yàn)闇囟鹊牟町惪赡軙?huì)影響腐蝕反應(yīng)的速率和均勻性。在實(shí)際應(yīng)用中，即使面對(duì)不同材質(zhì)和厚度的晶片，該清洗機(jī)也能提供出色的腐蝕均勻性，從而有效提高芯片的質(zhì)量和性能。
4.設(shè)備特點(diǎn)
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小
模塊化設(shè)計(jì)，配置靈活、可擴(kuò)展
成熟的工藝槽設(shè)計(jì)，確保工藝穩(wěn)定性
精確的化學(xué)稱量系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量工藝
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