負(fù)載鎖是一種真空室，用于將半導(dǎo)體晶圓等設(shè)備從環(huán)境氣壓加載到真空處理室。負(fù)載鎖通常在大氣氣壓環(huán)境壓力和將晶圓轉(zhuǎn)移到加工真空室所需的足夠真空壓力之間循環(huán)。精確控制負(fù)載鎖真空室中的壓力對(duì)于防止環(huán)境空氣和顆粒污染負(fù)載鎖和晶圓至關(guān)重要。

可編程設(shè)置和參數(shù)

用戶可以對(duì)傳感器設(shè)置和參數(shù)進(jìn)行編程，以控制真空系統(tǒng)和應(yīng)用參數(shù)。

數(shù)字串行接口支持診斷、預(yù)測(cè)性維護(hù)、維修、校準(zhǔn)、設(shè)定值配置、模擬輸出縮放和實(shí)時(shí)真空壓力測(cè)量值的采集，以便在屏幕上顯示。串行USB編程器與免費(fèi)、直觀的配置軟件相結(jié)合，是用于傳感器編程、實(shí)時(shí)測(cè)量和診斷的即插即用解決方案。

模擬電壓輸出

用戶可以通過(guò) S4-Connect™ 或 RS-232/RS-485 接口將模擬輸出配置為 0-10 VDC 范圍內(nèi)的任何任意縮放。模擬輸出縮放功能可在有限的壓力范圍內(nèi)放大信號(hào)。此外，還提供多種模擬輸出縮放選項(xiàng)，以模擬其他供應(yīng)商的真空計(jì)和傳感器。可選的輔助模擬輸出可對(duì)全范圍真空壓力和相對(duì)于大氣壓的壓力信號(hào)進(jìn)行外部監(jiān)測(cè)。

用于壓力指示的新型 RGB LED

SmartPirani™ ATM引入了一種新方法，通過(guò)多色LED直觀地確定測(cè)量的壓力，該LED在整個(gè)壓力范圍內(nèi)平滑地改變顏色。這種可選的視覺(jué)功能是集成顯示器的低成本替代方案，可提供測(cè)量壓力的粗略視覺(jué)指示。如果真空系統(tǒng)加壓超過(guò)環(huán)境壓力，它還會(huì)提供清晰的視覺(jué)警告。

可靠而穩(wěn)健的壓力控制

為了優(yōu)化負(fù)載鎖定性能，需要準(zhǔn)確可靠地控制多個(gè)壓力參數(shù)。SmartPirani™ ATM傳感器具有三個(gè)獨(dú)立的固態(tài)開關(guān)繼電器，可配置為控制排氣、傳輸室閘閥和負(fù)載鎖門。

與傳統(tǒng)的機(jī)電繼電器相比，固態(tài)繼電器具有可靠性和更快的開關(guān)時(shí)間，同時(shí)提供無(wú)電弧觸點(diǎn)，并且在開關(guān)觸點(diǎn)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生EMI（電磁干擾）。SmartPirani™ ATM 控制繼電器經(jīng)久耐用，并通過(guò)了 UL 認(rèn)證、CSA 認(rèn)證和 EN/IEC 60950-1 認(rèn)證，在用于控制關(guān)鍵真空過(guò)程和高循環(huán)負(fù)載鎖定應(yīng)用時(shí)具有最大的信心。