智能型多功能橢偏儀
- 公司名稱 研啟科學儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/22 16:45:41
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v Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具。測試速度快,準確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學常數(shù)(n, k)以及薄膜結(jié)構(gòu)特性(如粗糙度、光學梯度及各向異性等)
v 光譜范圍:450nm to 1000nm
v 光譜分辨率:優(yōu)于3nm
v 光源:鹵素燈和藍光LED
v 測試時間:小于1秒到10秒
v 光斑尺寸:
? 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,
? 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,
? 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,
? 500µm*500µm
v 入射角:450 to 900 ,步徑50
v 樣品尺寸:200mm以內(nèi)
v 樣品準直:手動調(diào)整樣品臺高度(17mm以內(nèi))和傾角
v 空氣對射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
v 厚度準確性:0.04%
v 厚度重復(fù)性:±0.02%
v 可選附件:
? 全自動量角器,入射角度從450 到900可調(diào),步徑0.010
? 可通過法蘭耦合在反應(yīng)腔實現(xiàn)在線監(jiān)測
? 冷熱臺,液體樣品池和電化學反應(yīng)池
? 十字星自準直系統(tǒng)