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          RTP快速退火爐真空型500SV

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                本所自開(kāi)發(fā)RTP快速退火系列產(chǎn)品以來(lái)已近30年。自1988年受中科院委托研發(fā)光照快速熱處理設(shè)備以來(lái)與清華,北大,浙大,半導(dǎo)體所,微電子所,物理所等高校研究所共同進(jìn)步,為華為,三安光電,中電科等半導(dǎo)體企業(yè)保駕護(hù)航,也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)。美國(guó)堪薩斯州立大學(xué),美國(guó)揚(yáng)斯頓州立大學(xué)和新加坡南洋理工大學(xué)也有數(shù)臺(tái)在科研教學(xué)一線。

          快速退火爐,真空快速退火爐

          RTP快速退火爐真空型500SV
          RTP快速退火爐真空型500SV
          性能指標(biāo) 配備狀態(tài)
          溫度范圍 100 – 1300 ℃
          升溫速率 2  —  200 ℃/秒可調(diào)
          密封石英腔內(nèi)面尺寸 215 X 140X 14 毫米
          樣品尺寸 4英寸
          計(jì)算機(jī)控制器 PC 機(jī)控制,內(nèi)存 4G,500G硬盤,處理器:I3 以上及快速熱處理編程控制軟件RTP-500的控制軟件.
          可編程溫度曲線存儲(chǔ)1500 條以上, 每條曲線包括100段以上, 溫度設(shè)定范圍 25—1300℃ , 每段時(shí)間設(shè)定范圍1—30000 秒。數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為文本文件便于數(shù)據(jù)處理。自動(dòng)優(yōu)化溫控。
          溫度設(shè)定范圍 100-1300℃
          溫度重復(fù)性 +/-1℃ 6區(qū)控溫
          測(cè)溫精確度 100-1300全溫度段精度>0.5%
          測(cè)溫裝置 K型熱電偶
          溫度曲線 自動(dòng)記錄,保存,文本格式轉(zhuǎn)換,支持彩色分頁(yè)打印
          真空系統(tǒng) 提供KF16接口,不銹鋼管路,極限真空度0.1Pa
          1000℃連續(xù)工作時(shí)間 雙閉環(huán)溫度控制,  穩(wěn)態(tài)溫度穩(wěn)定性±2℃ ,1000℃連續(xù)工作>1小時(shí)
          光源 1.25KW X 13 鹵鎢燈
          電源 380 V  40A 三相 四線(三火線, 零線),50/60Hz
          冷卻裝置 自來(lái)水或循環(huán)水, 水壓 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分
          冷卻方式 水冷,風(fēng)冷,氣冷
          安全裝置 過(guò)溫報(bào)警,過(guò)熱報(bào)警,過(guò)熱自動(dòng)保護(hù),水壓報(bào)警,水壓異常自動(dòng)保護(hù)

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