晶錠渦流法電阻率測試儀
- 公司名稱 九域半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/11/18 16:05:04
- 訪問次數(shù) 76
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價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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可以通過渦流測量高精度和分辨率為1毫米的方式來測量晶圓片或晶塊的電阻率。由于距離相關(guān)的內(nèi)部布局矩陣,渦流傳感器有一個非常好的長期穩(wěn)定性因此,每個電阻率圖都是測量表面接地度的幾何圖。電阻率可與少數(shù)負(fù)載流子消耗和光電導(dǎo)率圖同時測量。在進(jìn)行電阻測量時,需要用戶提供樣品的厚度。
步徑≥1mm
邊緣:12mm
電阻率片厚:150-250μm
電阻率范圍
默認(rèn)設(shè)置:0.5-5 Ohm cm
準(zhǔn)確度:< 3%
重復(fù)性:< 1%(范圍從0.5-3 Ohm cm)
為了研究發(fā)射極擴(kuò)散的均勻性,有可能出現(xiàn)較弱的發(fā)射極的方阻?;A(chǔ)的電阻率由用戶給出。
方阻測量范圍為0.1-200 Ohm/sq。
以標(biāo)準(zhǔn)樣品量下的準(zhǔn)確度,
0.1-10 Ohm/sq:< 3 % 精度
10-100 Ohm/sq:< 3 % 精度
100-200 Ohm/sq:< 3 % 精度