SS-8800肖特基熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡主要技術參數

1.1 電子光學系統(tǒng)

1.1.1發(fā)射源：肖特基熱場發(fā)射電子槍 （槍真空采用吸氣劑泵設計, 發(fā)射源壽命：15,000小時）

1.1.2分辨率： 0.9nm@30kV  （SE）

1.1.3加速電壓范圍：0－30kV，連續(xù)可調

1.1.4放大倍數范圍：2-1,800,000倍

1.1.5電子束流：1nA～20nA范圍內1pA連續(xù)可調

1.2 透鏡及物鏡系統(tǒng)

1.2.1 高性能三級電磁-靜電復合透鏡系統(tǒng)，具備鏡筒內加減速功能

1.2.2 低像差混合錐形物鏡

1.2.3 鏡筒加速系統(tǒng)

1.2.4 樣品臺減速系統(tǒng)

1.2.5 物鏡系統(tǒng)具備磁性材料分析能力且具備自加熱功能

1.3 真空系統(tǒng)

1.3.1真空系統(tǒng)：1個吸氣劑泵、2個離子泵，1個渦輪分子泵，1個機械泵組成的機組

1.3.2槍真空優(yōu)于2×10-7 Pa，樣品室真空優(yōu)于6×10-4 Pa

1.3.3全自動真空控制，具有真空互鎖功能

1.4 樣品艙及樣品臺

1.4.1樣品室尺寸342mm（長）x324mm（寬）x320mm（高）；

1.4.2五軸全自動優(yōu)中心樣品臺、一體化設計樣品臺行程：

 X:0-150mm；Y:0-150mm；Z：0-150mm；R：360°連續(xù)；T：-5°-﹢75°

1.4.3 大型樣品艙：內部尺寸342mm（長）x324mm（寬）x320mm（高）

1.4.4 最大載入樣品尺寸340mm，樣品最大高度260mm

1.4.5 樣品臺具有接觸報警與自停功能.

1.4.6 樣品臺承受重量5kg

1.5 探測器

1.5.1  樣品室獨立二次電子探測

1.5.2  樣品室獨立四象限半導體背散射探測器

1.5.3  鏡筒內獨立IN-LENS二次電子探測器

1.5.4  CCD紅外高清樣品艙監(jiān)視器，具備導航功能

1.6 圖像顯示與處理

1.6.1 顯示方式：最大16384×16384像素顯示全屏顯示、分屏顯示、數字電影、灰度直方圖、偽彩色。

1.6.2 圖像注釋與數據區(qū)：提供標準數據區(qū)和定制數據區(qū)，可在圖片上顯示各種電鏡參數和字符。

1.6.3 狀態(tài)菜單：顯示各種工作參數，如放大倍率、探測器類型、日期、加速電壓等。

1.6.4 測量功能：可對圖像中的形貌進行點間距、角度、直徑等測量。

1.6.5.1 探測器輸出輸入：支持最多12個信號源輸入，最多同時顯示4種型號源（單一信號源，或混合信號源SE，BSE，SE+BSE，BSE1，BSE2，CL等其他信號源）

1.6.5.2 掃描速度：實時掃描（快掃），慢掃，區(qū)域掃描，速度13檔可調；常規(guī)掃描；活動選區(qū)掃描；線掃描；點掃描；雙放大掃描；圖像分割掃描

1.6.6.1  圖像可存儲到操作系統(tǒng)支持的存儲介質或輸出到打印機。

1.6.6.2  圖像存儲格式：TIFF、BMP、JPG、PNG數字電影：(.avi)

1.6.7  配套計算機系統(tǒng) Thinkpad計算機工作站：

?計算機配置為主流品牌工作站，其配置不低于： 英特爾至強處理W-2223 3.6G、16G內存、 三星500G SSD+1TB、顯卡英偉達 P1000（獨顯-4G）、950W、Windos系統(tǒng) 、24"液晶顯示器、光電鼠標、鍵盤。

1.6.8  基于WINDOWS10 的中/英電鏡操作系統(tǒng)

1.6.9  輸入設備：帶有旋鈕控制的操作面板、鍵盤、鼠標。

1.6.10  自動調整功能：電子槍，對中，聚焦，亮度，對比度，消像散，像散記憶等。

1.7 軟件免費升級，后期可按客戶要求有償進行定制的軟件開發(fā)。

1.7 真空系統(tǒng)
1.7.1  具備無油分子泵和離子泵及前級無油機械泵
1.7.2  樣品室真空度：高真空模式的真空度為2×10-4 Pa
1.7.3  配靜音模式，當真空度到達一定數值時，機械泵停止工作，從而降低能耗和噪音，延長機械泵的使用壽命