化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>離子注入設(shè)備>離子注入機>SOPHI-200/260 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機
SOPHI-200/260 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SOPHI-200/260
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/25 14:47:43
- 訪問次數(shù) 22
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真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機
中電流離子注入機SOPHI-200/260
中電流離子注入機SOPHI-200/260是一款配備技術(shù)的8、6和5英寸離子注入機。我們正在接受抽樣。
特征
配備技術(shù)的平行束離子注入機。
價格低，運行成本低，
小型、輕量、
超薄晶圓可直接轉(zhuǎn)移。
目的
半導(dǎo)體、電子元件
功率器件薄基板工藝、SiC工藝
研發(fā)
規(guī)格
| 物品 | 索菲-200 | SOPHI-260 |
| 能量范圍 | 3~200keV | 3~260keV |
| 光束平行度 | 0.2°以下 | |
| 均勻性 | 0.5%以下 | |
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