產(chǎn)品介紹
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本*家發(fā)表光學干杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。ET4000系列中，有ET4000A（多動能、自動化、可添加一款3D軟件，掃出測量表面的3D形貌） ，ET4000L（*自動化的,針對體積較大的樣品可與大型精密貴重玻璃或晶片尺寸樣品） ，ET4000M（Y軸方向手動移動、性價比高、易于使用） ，常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的穩(wěn)定性、高精度和強大的功能。在平板顯示器FPD，晶片，硬盤和其他納米尺度上的應用廣泛。

主要特點：
（1）的臺階再現(xiàn)性與線性度。
（2）超高真直度，可確保量測圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進行長距離測量。
（3）采用超低噪音直動式 LVDT，超低測定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。
（4）配備高分辨率的 CCD 即時進行高精度定位測量。
（5）可對應各種規(guī)范，測定參數(shù)多達 60 多種。
（6）適用于各種與納米材料有關(guān)的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。 

技術(shù)參數(shù)
一、測定工件：
1. zui大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
2. zui大工件厚度 50mm
3. zui大工件重量 2kg
二、檢出器（pick up）：

 
1. Z 方向測定范圍 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 測定力 0.5 μN to 500 μN
4. 觸針半徑 0.5 , 2 μm
5. 驅(qū)動方式 直動式
三、X 軸 （基準軸）：

 
1. 移動量（zui大測長） 100mm
2. 移動的真直度 0.005μm/5mm
3. 測定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位時速度 Max. 10mm/S
5. 線性尺（linar scale） 分解能 0.01μm
6. 位置定位再現(xiàn)性 ± 5μm
7. 滑軌 材質(zhì)為在鑄鐵（CD-5）上,鍍上硬質(zhì) Cr,無潤滑（于移動臺側(cè),使用鐵弗龍折動材料）
8. 驅(qū)動 DC motor + Dynamic belt
四、Y 軸（位置決定用）：
1. 移動量 52mm
2. 移動速度 max.3mm/S
3. 滑軌 Crose roller 滑軌
4. 驅(qū)動 DC motor + 滾珠螺桿（P=2mm）
5. 檢出器自動停止機能
五、工件臺：
1. 工件臺尺寸 210mm×210mm
2. 自動傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驅(qū)動 pulse motor
六、全自動量測功能
七、工件觀察 max. 80倍（可選購其它高倍率 CCD）
八、床臺 材質(zhì)為花崗巖石
九、段差測定再現(xiàn)性 1δ, 5A°以內(nèi)
十、防振臺（選購） 落地型或桌上型
十一、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm（不含防震臺）