牛津儀器CMI900膜厚儀
膜厚儀技術(shù)規(guī)格和介紹
可測量元素范圍：Ti22–U92；
可同時測定5層/15種元素/共存元素較正；
也可進行鍍層的單層測量。
 測量精度：
被測元素厚度﹤20μin（0.5μm）時，第1層元素測量誤差±1μin，第2層元素測量誤差±2μin，第3層元素測量誤差±3μin，
被測元素厚度＞20μin（0.5μm）時，第1層元素測量誤差±5%，第2層元素測量誤差±10%，第3層元素測量誤差±15%，
 測量斑點尺寸：
在12.7mm聚焦距離時，zui小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準(zhǔn)直器）
在12.7mm聚焦距離時，zui大測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm（使用0.3mm<即圓形12mil>準(zhǔn)直器）
 
測厚范圍：取決于您的具體應(yīng)用
 
X射線管采用垂直下照式，空冷式微聚焦型，W靶（可選用Rh、Mo、Ag等）、50W，且裝備有安全防射線光閘。
 
準(zhǔn)直器：可配置單準(zhǔn)直器或多準(zhǔn)直器，配多準(zhǔn)直器時zui多可同時裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器；又分為圓形、矩形準(zhǔn)直器；
圓形準(zhǔn)直器規(guī)格：4、6、8、12、13、20mil（即0.102、0.152、0.203、0.305、0.330、0.508mm）等
矩形準(zhǔn)直器規(guī)格：1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16mil
（即0.025*0.05、0.05*0.05、0.013*0.254、0.025*0.254、0.051*0.254、0.102*0.406mm）等
 
觀察系統(tǒng)選用30倍（可選用50倍和100倍）高分辨彩色CCD觀察系統(tǒng)，具有激光自動對焦功能、變焦距控制功能和固定焦距控制功能
 
樣品臺：zui大尺寸610mm x 610mm，為開槽式樣品室；分固定臺、程控臺、自動臺，其Z軸為自動控制，移動高度43.18mm；固定臺、程控臺的X、Y軸為手動控制；自動臺的X、Y軸為自動控制，移動范圍152.4 x 177.8mm。
 
分析應(yīng)用軟件：Windows XP中文平臺、SmartLink FP分析軟件包
 
牛津儀器CMI900的功能強大，具備有如下的功能：
基本分析功能：
檢測元素范圍：Ti22 –U92；
同時測定5層/15種元素/共存元素校正；
貴金屬檢測，如Au karat評價；
材料和合金元素分析；
材料鑒別和分類檢測；
元素光譜定性分析
 
調(diào)整和校正功能：系統(tǒng)自動調(diào)整和校正功能，自動消除系統(tǒng)漂移
 
測量自動化功能：
鼠標(biāo)激活測量模式
多點自動測量模式：隨機模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、重復(fù)測量模式；
測量位置預(yù)覽功能；
激光對焦和自動對焦功能
 
樣品臺程控功能：設(shè)定測量點、連續(xù)多點測量、測量位置預(yù)覽
 
統(tǒng)計計算功能：
平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、相對標(biāo)準(zhǔn)偏差、zui大值、zui小值、數(shù)據(jù)變動范圍、數(shù)據(jù)編號、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖
任選軟件：統(tǒng)計報告編輯器允許用戶自定義多媒體報告書
數(shù)據(jù)分組、X-bar/R圖表、直方圖
數(shù)據(jù)庫存儲功能
系統(tǒng)安全監(jiān)測功能：Z軸保護傳感器、樣品室門開閉傳感器