英?？礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀
- 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/1/24 10:25:21
- 訪問次數(shù) 10438
UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀UL1000fab氦質(zhì)譜檢漏儀550-100A英?？岛べ|(zhì)譜檢漏儀
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,綜合 |
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英?？礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀
INFICON（德國(guó)）UL1000 fab移動(dòng)式氦檢漏儀專門設(shè)計(jì)用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求：具有耐用性強(qiáng)、測(cè)試靈活性好、靈敏度高、啟動(dòng)快，響應(yīng)精準(zhǔn)迅速，系統(tǒng)安可靠等特點(diǎn)。
UL1000 fab符合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求。從堅(jiān)固的金屬外殼到方便移動(dòng)的滾輪 ，至 I·C AL, 用于解除在10 -11 至10 -12 高靈敏漏率范圍中長(zhǎng)平衡時(shí)間 的運(yùn)算法則，都無不顯示了其*性。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)功能。英?？礥L1000(fab)氦質(zhì)譜檢漏儀的通風(fēng)系統(tǒng)不會(huì)干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動(dòng)。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并解除氦污染。
UL1000 fab氦質(zhì)譜檢漏儀具有可轉(zhuǎn)動(dòng)的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測(cè)量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。 通過更新軟件，新的固件可通過標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。
應(yīng)用：
1、半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)，該設(shè)備本身帶或未帶有渦輪分子泵
2、工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝
3、元器件在組裝前的漏率測(cè)試
4、要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合
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優(yōu)勢(shì)所在： 1、具有*的ICAL本底穩(wěn)定功能，提供在10-12毫巴 •升/ 秒范圍內(nèi)無比*的測(cè)量速度和穩(wěn)定性。 2、可270度旋轉(zhuǎn)的顯示器，大而清楚的字體可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。可以數(shù)顯，模擬顯和趨勢(shì)顯示三種顯示方式。菜單式控制軟件，易于使用。 3、高性能渦旋式干泵，抽速：25米3/小時(shí)@50Hz。 4、德國(guó)普發(fā)三級(jí)渦輪進(jìn)氣分子泵，抽速：>70升/秒，采用半磁懸浮軸承，即使90000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速也不會(huì)磨損軸承，高氦壓縮比：比其他檢漏儀高2－4倍。 5、兩條鍍釔的銥絲，當(dāng)一只燈絲斷了以后，能自動(dòng)切換到另一只。UL1000*的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使燈絲可耐大氣沖擊和污染。離子源保修3年。 6、UL1000采用全逆擴(kuò)散檢漏方式，即使是在精檢和超精檢模式依然采用逆擴(kuò)散檢漏方式。有效地減少對(duì)檢漏儀質(zhì)譜室的污染。UL1000的質(zhì)譜室終生免維護(hù)。 7、采用毛細(xì)管式TL7校準(zhǔn)漏孔，不受環(huán)境溫度變化影響，因此不需要溫度補(bǔ)償。*的測(cè)試罐校準(zhǔn)模式不僅校準(zhǔn)儀器，也校準(zhǔn)檢漏罐，是精準(zhǔn)的校準(zhǔn)。 英福康公司在北京，上海和廣州設(shè)有維修中心及備件倉(cāng)庫(kù)，可以提供24小時(shí)服務(wù)。工程師全部在德國(guó)總部接受過嚴(yán)格培訓(xùn)。國(guó)內(nèi)的各維修中心存有備用氦檢漏儀，可在緊急情況下提供給用戶免費(fèi)使用。 INFICON有專門維修代理，可提供日常技術(shù)支持及維修。
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