日本ORC UV-351計(jì)測(cè)器械紫外線(xiàn)強(qiáng)度計(jì)電池
日本ORC UV-351計(jì)測(cè)器械紫外線(xiàn)強(qiáng)度計(jì)電池
?? | 露光裝置、UVコンベヤー等の照度と光量の管理ができます。 |
?? | 小型、軽量、薄型な、ハンディタイプです。 |
?? | 機(jī)種は、用途に合わせてUV-351(UV-SD35相當(dāng))、UV-351-25(UV-SD25相當(dāng))、UV-351-42(UV-SD42相當(dāng))からお選びいただけます。 |
?? | 光量測(cè)定、照度測(cè)定、ピーク照度測(cè)定など、各種の測(cè)定モードを選択できます。 |
?? | メタル??ボディで熱に強(qiáng)く、堅(jiān)牢な構(gòu)造です。 |
◆ SD型とSN型について |
?。樱涡亭瞎扭楫?dāng)社製の露光裝置や照射裝置等をお使いいただいているお客様に広く採(cǎi)用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。 ?。樱男亭习雽?dǎo)體や液晶用基板の製造プロセスの現(xiàn)場(chǎng)で、すでに他社製の照度計(jì)をお使いのお客様が、それらの計(jì)測(cè)器とのデータの互換性確保を重視される場(chǎng)合(當(dāng)社製の露光裝置でも投影型露光裝置や液晶基板用の周辺露光裝置にはSD型が採(cǎi)用されています)や、全く新規(guī)に照度計(jì)などをお使いになられるお客様に推奨しています。 |
◆ SD型とSN型の指示値について |
SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値(當(dāng)社計(jì)測(cè)グループで校正用の放射源として使用している高圧UVランプの365nmの輝線(xiàn)を同一の測(cè)定條件で測(cè)定した時(shí)に示される照度の値: mW/cm2 表示)に対して39%高く表示するように調(diào)整されています。 |
◆ 他社製照度計(jì)??光量計(jì)とのデータ互換性について |
可視光用の照度計(jì)??光量計(jì)(家庭??事務(wù)所??店舗??美術(shù)館などの明るさをLUX単位で測(cè)る照度計(jì)??光量計(jì))と違い、紫外線(xiàn)用の照度計(jì)??光量計(jì)の全てに適用される規(guī)格は未だ整えられていません(ごく一部の限定された用途でJIS化の作業(yè)は行われているようです)。 各社の相対分光感度は、365nmの輝線(xiàn)を主體とした光源による照度を測(cè)定する目的で作られていても、測(cè)定のピーク波長(zhǎng)(相対分光感度特性が1で示されている波長(zhǎng))を初めとして、短波長(zhǎng)側(cè)(300nm~310nm前後)と長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)(380nm~400nm前後)の立ち上り、立ち下ろしの波長(zhǎng)とその前後の曲線(xiàn)が少しずつ異なっています。 またCOSθ特性と言われている受光器の持つ受光角特性も理想曲線(xiàn)に近づけようと、設(shè)計(jì)面で努力されていますが、中々実現(xiàn)されていないのが現(xiàn)実です。 |
◆ 仕 様 |
測(cè)定波長(zhǎng)領(lǐng)域 | 310~385nm(UV-SD35相當(dāng)) | |
測(cè)定光量範(fàn)囲 | 1~19999mJ/cm2 | |
測(cè)定照度範(fàn)囲 | 0.1~100.0mW/cm2 | |
合わせ込み精度 | 當(dāng)社UV標(biāo)準(zhǔn)器に対して±1.5%以?xún)?nèi) | |
繰り返し精度 | ±1.5%以?xún)?nèi) |
◆ UV計(jì)測(cè)器 受光器 分光感度特性 |