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理化公司成為美國JC Nabity公司NPGS納米圖形發(fā)生系統(tǒng)中國地區(qū)授權(quán)代理商。美國JC Nabity Lithography Systems成立于1988年,公司成功研發(fā)了基于改造SEM、STEM或FIB的電子束曝光裝置(Nanometer Pattern Generation System納米圖形發(fā)生系統(tǒng),簡稱NPGS,又稱電子束微影系統(tǒng))。電子束曝光技術(shù)具有可直接刻畫精細(xì)圖案的優(yōu)點,且高能電子的波長短(< 1 nm),可避免繞射效應(yīng)的困擾,是實驗室制作微小納米電子元件*的選擇。相對于購買昂貴的電子束曝光機臺,以既有的SEM等為基礎(chǔ),外加電子束控制系統(tǒng),透過電腦介面控制電子顯微鏡中電子束之矢量掃描,以進行直接刻畫圖案,在造價方面可大幅節(jié)省,且兼具原SEM 的觀測功能,在功能與價格方面均具有優(yōu)勢。由于其具有高分辨率以及低成本等特點,在北美研究機構(gòu)中,JC Nabity的NPGS是的配套于掃描電鏡的電子束微影曝光系統(tǒng),而且它的應(yīng)用在世界各地越來越廣泛。
NPGS的技術(shù)目標(biāo)是提供一個功能強大的多樣化簡易操作系統(tǒng),結(jié)合使用市面上已有的掃描電鏡、掃描透射電鏡或聚焦離子束裝置,用來實現(xiàn)藝術(shù)級的電子束或離子束平版印刷技術(shù)。NPGS能成功滿足這個目的,得到了當(dāng)前眾多用戶的強烈推薦和一致肯定。
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