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詳細(xì)介紹
NS3500 Solar 半導(dǎo)體晶圓質(zhì)量檢測系統(tǒng)
NS-3500 Solar 是一種可靠的半導(dǎo)體晶圓檢測系統(tǒng)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu)，可以為半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等提供各種解決方案。
Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：
高分辨無損傷光學(xué)3D測量 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測
實(shí)時(shí)CCD明場和共聚焦成像 無樣品準(zhǔn)備
自動(dòng)聚焦
Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：
NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。
可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如
-半導(dǎo)體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案
-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析
Specifications(規(guī)格）:
Model | Microscope NS-3500 Solar | 備注 | ||||
物鏡倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
觀察/ 測量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | |
垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | ||
工作范圍: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | ||
數(shù)值孔徑(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | ||
光學(xué)變焦 | x1 to x6 | |||||
總放大倍率 | 178x to 26700x | |||||
觀察/測量光學(xué)系統(tǒng) | Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |||||
高度測量 | 測量掃描范圍 | 400 um | 注 1 | |||
顯示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重復(fù)率 σ | 0.010 μm | 注 2 | ||||
幀記憶 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | ||||
單色圖像 | 12 bit | |||||
彩色圖像 | 8-bit for RGB each | |||||
高度測量 | 16 bit | |||||
幀速率 | 表面掃描 | 20 Hz to 160 Hz | ||||
線掃描 | ~8 kHz | |||||
激光共焦測量光源 | 波長 | 405nm | ||||
輸出 | ~2mW | |||||
激光等級(jí) | Class 3b | |||||
激光接收元件 | PMT (光電倍增管) | |||||
光學(xué)觀察光源 | 燈 | 10W LED | ||||
光學(xué)觀察照相機(jī) | 成像元件 | 1/2" 彩色圖像 CCD 傳感器 | ||||
記錄分辨率 | 640x480 | |||||
自動(dòng)調(diào)整 | 增益, 快門速度, White balance | |||||
數(shù)據(jù)處理單元 | PC | |||||
電源 | 電源電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | ||||
電流消耗 | 500 VA max. | |||||
重量 | 顯微鏡 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) | ||||
控制器 | ~8 kg | |||||
隔振系統(tǒng) | 氣浮光學(xué)平臺(tái)隔振系統(tǒng) | Option | ||||
注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器（PZT）執(zhí)行。
注2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品（步長1μm）進(jìn)行100次測量。
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