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詳細(xì)介紹
CTRM700 是韓國?????所研發(fā)并由韓國Nanoscope Systems 進(jìn)行商業(yè)化運(yùn)營的熱反射式激光共聚焦顯微鏡。
CTRM 700熱反射式激光共聚焦顯微鏡利用的是激光共聚焦掃描的方法測(cè)量樣品表面或內(nèi)部特定表面上溫度變化引起的反射率變化的分布來獲取樣品的熱分別圖像。
Principles & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：
熱反射顯微鏡（Thermal Reflectance Microscope) 是一種基于測(cè)量樣品表面光反射率變化而測(cè)量樣品溫度變化的一種技術(shù)。
共聚焦熱反射顯微技術(shù)是一種激光掃描共聚焦方法，它可以在局部區(qū)域獲得比傳統(tǒng)熱成像技術(shù)（紅外成像技術(shù)）更高分辨率的熱成像圖像。
Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：
半導(dǎo)體器件熱特性的測(cè)量與分析：
-柔性顯示面板缺陷檢查
-OLED內(nèi)部缺陷檢查
-高輸出功率裝置發(fā)熱特性的測(cè)量與分析
-傳感器單元的紅外圖像分析
-氧化物薄膜晶體管的熱特性
-3D堆疊半導(dǎo)體熱特性的測(cè)量分析
-OLED 器件的熱特性分析
-氣體傳感器的MEMS裝置的熱特性測(cè)量和分析
-InGaZnO薄膜晶體管的發(fā)熱特性及可靠性分析
Specification（規(guī)格）
| Model | Microscope CTRM 700 | ||||
| 物鏡倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | |
| 觀察/ 測(cè)量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 |
| 垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | |
| 工作范圍: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | |
| 數(shù)值孔徑(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | |
| 光學(xué)變焦 | x1 to x6 | ||||
| 觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng) | 針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | ||||
| 測(cè)量高度 | 7 mm | ||||
| 分辨率 | 橫向分辨率 | 0.3 μm | |||
| 軸向分辨率 | 0.8 μm | ||||
| 熱分辨率 | 1℃ | ||||
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Image size | 共聚焦模式 | 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 | |||
| 熱成像模式 | 1024x768 | ||||
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幀速率 | 共聚焦模式 | 10 Hz to 160 Hz | |||
| 熱成像模式 | 0.3 Hz | ||||
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激光共焦測(cè)量光源 | 波長 | 638 nm | |||
| 輸出 | ~2mW | ||||
| 激光等級(jí) | Class 3b | ||||
| 光學(xué)顯微鏡光源 | LED | 10W | |||
| 光學(xué)觀察照相機(jī) | 成像元件 | 1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器 | |||
| 記錄分辨率 | 640x480 | ||||
| 數(shù)據(jù)處理單元 | PC | ||||
| 電源 | 電源電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||
| 電流消耗 | 500 VA max. | ||||
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重量 | 顯微鏡 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~14 kg) | |||
| 控制器 | ~8 kg | ||||
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