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傅里葉變換紅外光譜分析儀，MG6030
MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流，能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會發(fā)現(xiàn)MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀操作簡便，易于維護。
MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀由2102傅里葉變換紅外制成分光計，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MG 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。
應用領域： ●煙囪監(jiān)測器 ●工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化 ●空氣環(huán)境分析 ●氣體純度分析 ●燃燒排放監(jiān)測 ●選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測 |
特點和優(yōu)點：
●10ppb~100%靈敏度對于絕大多數有毒有害氣體
●易于移動從一處移到另一處，設置僅需幾分鐘
●同時分析和顯示多達30種氣體
●分析儀儲存了校準光譜，省去了氣體筒的成本
●取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度
●線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準條件下
●頻率和分辨率診斷，確保校準恒定
●提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度
●用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓即可操作
分析儀主機
測試技術 傅里葉變換紅外光譜
可測試氣體或水蒸氣 絕大多數分子除了氮氣，氧氣和氫氣
范圍 濃度從10ppb到100%
傅里葉變換紅外 2102制成傅里葉變換紅外
光譜分辨率 0.5 - 128cm-1
掃描速度 每秒5次在0.5cm-1
掃描時間 1 – 300秒
紅外源 碳化硅在1200℃
參考激光 氦氖（15798.2cm-1）
檢測器 液氮冷卻MCT或半導體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）
清潔(Purge)壓力 最大20PSI(1.5bar)
光譜室Purge流量 0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣
光學系統(tǒng)Purge流量 0.2升/分，干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣
壓力傳感器 MKS Baratron 電容式薄膜壓力傳感器
Purge連接 Swagelok 快速接頭
電腦要求 臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰 處理器,微軟Wingdows； XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示
通訊口 RJ-45交叉以太網
輸出選件 XML，模擬，AK，其他
尺寸 445mm寬 *318mm高 * 648mm深
安裝 可安裝于19英寸標準機柜
電源 110V或220V，50/60hz，3A
重量 50公斤
IR Spectrum of Semiconductor Stack: Sample (white), Calibrations (color). MG 6030 can speciate (differentiate) similar molecules simultaneously. |
分析儀采樣參數
采樣溫度 室溫至200℃（取決于校準溫度）
采樣速流 0.2 – 10升/分
采樣壓力 0.01 – 4大氣壓（取決于校準壓力）
結構 鍍鎳鋁，或316不銹鋼焊接選件
接頭 Swagelok?或VCR?
采樣壓力 1個大氣壓（取決于校準壓力）
管道 加熱不銹鋼
Graphical User Interface for Calibration |
窗口 KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)
“O"型密封圈 Viton(其他可選)
檢測極限
5.11米氣室，MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下，下列典型氣體檢測數據為：
名稱 | 分子式 | 20/20TM氣室， 5分鐘檢測時間下的檢測值 | 20/20TM氣室， 1秒鐘檢測時間下的檢測值 |
氨氣 | NH3 | 30ppb | 0.5ppm |
二氧化碳 | CO2 | 12ppb | 0.2ppm |
一氧化碳 | CO | 72ppb | 1.2ppm |
甲醛 | H2CO | 36ppb | 0.6ppm |
氯化氫 | HCl | 87ppb | 1.5ppm |
甲烷 | CH4 | 36ppb | 0.6ppm |
二氧化氮 | NO2 | 24ppb | 0.4ppm |
氧化氮 | NO | 210ppb | 3.6ppm |
氧化二氮 | N2O | 30ppb | 0.5ppm |
四氟化硅 | SiF4 | 10ppb | 0.15ppm |
二氧化硫 | SO2 | 36ppb | 0.6ppm |
四氟化碳 | CF4 | 2.5ppb | 40ppb |
二甲苯磺 | C8H10 | 60ppb | 1.0ppm |
