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這款半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)廣泛用作分析探針臺(tái)和RF探針臺(tái),可測(cè)試100mm晶圓,性價(jià)比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體器件探針臺(tái)測(cè)試和晶圓探針臺(tái)測(cè)試應(yīng)用。
半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)特色
電動(dòng)XY樣品夾盤,步進(jìn)電機(jī)高精度控制

適合低于0℃的測(cè)試應(yīng)用或者屏蔽RF的應(yīng)用

樣品臺(tái)，行程范圍125mm x 125mm

加載或卸載晶圓非常方便

精密電控XY位移臺(tái)和臺(tái)板

光滑的磁鐵臺(tái)板可支撐高達(dá)10個(gè)磁性或真空定位器

高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X

適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

標(biāo)準(zhǔn)的XYZ三維位移臺(tái)顯微鏡

可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件

半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)

適合晶圓大?。?00mm （125mm可選）

電動(dòng)XY位移臺(tái)： 行程范圍125mm x 125mm， 分辨率1.5um

臺(tái)板行程：12.7mm 或更大，

臺(tái)板調(diào)整：帶有粗調(diào)和微調(diào)功能,重復(fù)精度+/-1.5um

臺(tái)板平面度：<+/-12.7um @150mm長(zhǎng)度

臺(tái)板剛度：<50um @4.5kg

樣品夾盤規(guī)格

真空：多區(qū)真空

平面度：+/-13um

擊穿電壓：500V

隔離度：1G歐姆

調(diào)整：360度粗調(diào)， +/-6度微調(diào)

顯微鏡：高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X

電學(xué)接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭

安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動(dòng)XY升級(jí)位移臺(tái)）

整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

凈重：85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件）