目錄:孚光精儀(中國(guó))有限公司>>光學(xué)精密儀器>> FPSUS-SD12晶圓顯影清洗機(jī)適合NMP剝離,顯影,光膠去除
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更新時(shí)間:2022-08-25 09:39:39瀏覽次數(shù):317評(píng)價(jià)
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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晶圓顯影清洗機(jī)SD12具有晶圓顯影機(jī)和晶圓清洗機(jī)的雙重功能,晶圓顯影清洗機(jī)是先進(jìn)的液體旋轉(zhuǎn)工藝系統(tǒng),內(nèi)嵌多種溶液分配模塊,例如高壓噴淋(壓力最大120bar)。該晶圓顯影清洗機(jī)可滿足12英寸(300mm)圓片、9英寸×9英寸(230毫米×230毫米)方形基片和掩模的工藝需求,包括NMP剝離、顯影(包括丙酮及其它溶液)、光刻膠去除和和清洗等應(yīng)用環(huán)境。該晶圓顯影清洗機(jī)也可以處理易碎的基片(例如磷化銦和砷化鎵),并擁有良率。
晶圓顯影清洗機(jī)具有良好的靈活性
晶圓顯影清洗機(jī)通過(guò)使用優(yōu)化的卡盤處理多種不同類型的晶圓,甚至脆的襯底(例如InP、GaAs)也可以安全地處理。特殊工具和廣泛的易于調(diào)整的工藝參數(shù)使晶圓顯影清洗機(jī)適用于涉及溶劑介質(zhì)的許多工藝應(yīng)用。借助編程參數(shù)(如步進(jìn)時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、加速度和減速度、分配臂位置和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng))的能力.
晶圓顯影清洗機(jī)具有良好的溶液分配技術(shù)
晶圓顯影清洗機(jī)為不同的工藝需求提供了廣泛的分配技術(shù)。可以運(yùn)行多種工藝:從簡(jiǎn)單的水坑或噴霧顯影到剝離,除了用于浸泡和最終沖洗的水坑分配外,還需要高壓來(lái)剝離抗蝕劑和金屬。還可以執(zhí)行特殊應(yīng)用,例如從安裝在帶架上的晶片上清潔粘合劑,這些應(yīng)用可能需要使用超聲波傳感器來(lái)獲得最佳清潔效果??梢栽?strong>晶圓顯影清洗機(jī)的分配臂處配置上述所有分配技術(shù)。
基于溶劑的智能介質(zhì)系統(tǒng)
專為處理溶劑基介質(zhì)的特殊需要而定制。所有與工藝化學(xué)品接觸的零件均由不易受影響的材料制成。排水管可以連接到房屋排水管或廢物罐。
溶劑介質(zhì)安全存儲(chǔ)在配有排氣連接的介質(zhì)存儲(chǔ)裝置中,并由溶劑泄漏檢測(cè)器和氣體傳感器固定。流量控制系統(tǒng)和壓力調(diào)節(jié)器管理介質(zhì)??蛇x地,可以控制介質(zhì)溫度以確保最佳工藝結(jié)果??梢园惭b介質(zhì)再循環(huán)系統(tǒng),以減少總體介質(zhì)消耗。
易于維護(hù)和操作
晶圓顯影清洗機(jī)SD12易于操作和維護(hù)。只需按下一個(gè)按鈕,即可調(diào)用工藝參數(shù)和介質(zhì)數(shù)據(jù)。可編程配方加快了工作流程,促進(jìn)了重復(fù)性。所有零件都易于接近,便于操作和維護(hù)工具。此外,該工具的設(shè)計(jì)主要關(guān)注操作員安全。帶有自動(dòng)安全玻璃門的密封工藝室確保了封閉的工藝環(huán)境,并便于工藝監(jiān)控?;ユi傳感器確保工具的安全操作。
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