目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>光學(xué)精密儀器>> FPHSQ-AFO自動(dòng)FOUP開(kāi)盒機(jī)
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更新時(shí)間：2024-08-22 16:13:29瀏覽次數(shù)：665評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
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自動(dòng)FOUP開(kāi)盒機(jī)可對(duì)300毫米FOUP盒自動(dòng)開(kāi)門(mén)器解鎖、移除并存儲(chǔ)FOUP門(mén)。FOUP下方的旋轉(zhuǎn)基座機(jī)構(gòu)允許360°旋轉(zhuǎn)，以將打開(kāi)的FOUP盒定位在操作員的最佳人體工程學(xué)進(jìn)入位置。
自動(dòng)FOUP開(kāi)盒機(jī)通常安裝在FOUP晶圓盒清洗站，用于拆卸和重新組裝吊艙。為ISO 3級(jí)（FS209E 1級(jí)）設(shè)計(jì)；抗靜電結(jié)構(gòu)。
自動(dòng)FOUP開(kāi)盒機(jī)規(guī)格參數(shù)
| 適合晶圓尺寸 | 300mm |
|---|---|
| 供電要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 90 FOUPs/小時(shí) |
| 重量 | 約為30kg |
自動(dòng)FOUP開(kāi)盒機(jī)可對(duì)300毫米FOUP盒自動(dòng)開(kāi)門(mén)器解鎖、移除并存儲(chǔ)FOUP門(mén)。FOUP下方的旋轉(zhuǎn)基座機(jī)構(gòu)允許360°旋轉(zhuǎn)，以將打開(kāi)的FOUP盒定位在操作員的最佳人體工程學(xué)進(jìn)入位置。
自動(dòng)FOUP開(kāi)盒機(jī)通常安裝在FOUP晶圓盒清洗站，用于拆卸和重新組裝吊艙。為ISO 3級(jí)（FS209E 1級(jí)）設(shè)計(jì)；抗靜電結(jié)構(gòu)。
自動(dòng)FOUP開(kāi)盒機(jī)規(guī)格參數(shù)
| 適合晶圓尺寸 | 300mm |
|---|---|
| 供電要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 90 FOUPs/小時(shí) |
| 重量 | 約為30kg |
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