目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>管式爐>> 單溫區(qū)GSL-1100X-6-S6單溫區(qū)CVD真空管式爐
GSL-1100X-6-S 是一款爐管內(nèi)徑為 6" 的真空管式爐 , 它可以在zui大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的zui高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) |
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工作電壓 | AC 220V |
功率 | 8KW |
爐管規(guī)格 |
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加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
工作溫度 |
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加熱區(qū) |
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控溫儀 |
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密封法蘭和進(jìn)氣接口 |
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產(chǎn)品尺寸 | 爐體: 1000L x 680W x 920 H mm |
凈重 | 250Kg |
保修期 | 整機保修一年,相關(guān)耗材除外。(如密封圈、爐管等) |
質(zhì)量認(rèn)證 | Certificate |
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