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輸入電源

• 220VAC 50/60Hz, 單相
• 1000W  (包括真空泵）

等離子源

• 一個(gè)500W，600V的直流電源安裝在移動(dòng)柜內(nèi)(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
• 

磁控濺射頭

• 一個(gè)2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接
• 靶材尺寸: 直徑為50mm,zui大厚度1.5mm
• 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上（手動(dòng)操作，見圖左3）
• 濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺(tái)流速為16ml/min的循環(huán)水冷機(jī)）
• 同時(shí)可選配1英寸濺射頭
     

真空腔體

• 真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x  250mm H，采用高純石英制作
• 密封法蘭:直徑為165 mm .  采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封
• 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體
• 真空度：10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵）， 10-5 torr （采渦旋分子泵）

載樣臺(tái)

• 載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱
• 載樣臺(tái)尺寸：直徑50mm （zui大可放置2英寸的基片）
• 旋轉(zhuǎn)速度：1 - 20 rpm
• 樣品的zui高加熱溫度為700℃，(短期使用，恒溫不超過1小時(shí))，長(zhǎng)期使用溫度500℃
• 控溫精度+/- 10℃
  

真空泵

可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國(guó)制作的分子泵系統(tǒng)
      

薄膜測(cè)厚儀

• 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?  
• LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
   

外形尺寸

質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證

• 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)
• CE認(rèn)證

使用注意事項(xiàng)

• 為了得到較好的金屬膜，特別是針對(duì)易氧化的金屬，如Al, Mg和Li等，必須通入高純惰性氣體（> 5N）
• 強(qiáng)烈建議采用PPM極的氣體凈化系統(tǒng)（將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后，再導(dǎo)入到真空腔體內(nèi)）
• 我們也可在設(shè)備中安裝射頻(RF)電源，用于濺射非導(dǎo)電靶材，來制備非金屬薄膜