當(dāng)前位置:上海旦順實(shí)業(yè)有限公司>>半導(dǎo)體烤箱>>晶圓烘干箱>> CM-100 S350BPO膠/BCB/PI膠固化爐
一.BPO膠/BCB/PI膠固化爐概述:
無(wú)氧化烘箱,在工作時(shí),工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……
二、BPO膠/BCB/PI膠固化爐產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
1.產(chǎn)品名稱及型號(hào):BPO膠/PI膠/BCB膠固化烤箱 CM-100 S350
2.電源及功率:AC380V 3φ 50Hz,6Kw
3.規(guī)格:工作尺寸:W600×H600×D600
外形尺寸:W950×H1510×D1340
4.無(wú)塵等級(jí):Class 100;
5.含氧量:40min達(dá)100ppm以下;(預(yù)留氧含量測(cè)試孔)
6.溫度范圍: 常溫~ +350℃;(客戶工藝需要長(zhǎng)期在300℃以上運(yùn)行)
7.溫度均勻度:±2% (空載)
8.升溫速度:>5℃/min ,升溫斜率可控,升溫速度可以通過(guò)加熱系統(tǒng)控制調(diào)節(jié)。
9.降溫:風(fēng)冷夾層降溫,200℃~ 120℃,3.5度/分鐘,120℃~ 65℃約1.5度/分鐘。
10.電磁鎖:?jiǎn)?dòng)設(shè)備運(yùn)行中,電磁門(mén)鎖鎖門(mén),運(yùn)行未結(jié)束,人工不能開(kāi)門(mén)。
三、箱體結(jié)構(gòu):
1.烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方。
2.全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵。
3.箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵。
4.內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污 避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE。
5.中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
6.保溫材料:超細(xì)玻璃棉;
7.電熱器:采用進(jìn)口覆套式電熱器 (SHEATHED HEATER)無(wú)塵化電熱發(fā)生器。
8.潔凈度:烤箱內(nèi)部均采用無(wú)塵化配件及材料。
四、工作室的氣流設(shè)計(jì):
1.采用特殊設(shè)計(jì),滿足內(nèi)腔Class 100潔凈標(biāo)準(zhǔn);
2.排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén)),以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)效果而降溫,排風(fēng)加冷阱。
3.進(jìn)氣口:加附N2流量計(jì)控制進(jìn)氣量。入氣口:10mm
4.壓縮氣體過(guò)濾器,可把氣體過(guò)濾到CLASS 100,凈化氣體流量:300L/分鐘。
五、*可靠的測(cè)控系統(tǒng)
溫控裝置:智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控(可聯(lián)網(wǎng),對(duì)接MES及SECSGEM)
10〃TFT真彩觸摸薄屏 程式編輯:可預(yù)編120個(gè)程式,每個(gè)程式大可編99段,共1200段歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出)三點(diǎn)溫度記錄
溫度測(cè)量:采用特制鍇裝鉑電阻
六、完善的安全保護(hù)措施:漏電斷路器//控制線路保險(xiǎn)絲裝置//超溫防止保護(hù)裝置//欠相保護(hù)//電熱器過(guò)電流保護(hù)裝置//馬達(dá)電流過(guò)載保護(hù)//機(jī)臺(tái)異常時(shí)蜂鳴器警示//門(mén)安全開(kāi)關(guān)//三色指示燈
|