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如何制作顯微鏡彩色濾光片
彩色濾光片制造方法包括染色法、顏料分散法、印刷法、電鍍法、噴墨法等,其中顏料分散法由于在顏色特性、質(zhì)量、可*度等方面均占有優(yōu)勢,因此成為目前彩色濾光片之主流制作方式,而所謂顏料分散法之彩色濾光片制造工程,包括黑色矩陣工程、RGB工程、后工程、出貨工程,首先在黑色矩陣工程,是先在無堿之硼玻璃基板上以濺鍍形成氧化鉻/鉻之低反射二層膜,作為基板使用,此低反射二層膜即稱為Metal Black,然后,再將Metal Black側(cè)之正型光阻以旋轉(zhuǎn)涂布(Spin Coating),再經(jīng)由黑色矩陣的光罩圖案,照射紫外線并加以曝光、光阻顯影后,將Metal Black蝕刻,形成黑色矩陣(BM)圖案,之后,在黑色矩陣之圖案形成后,接著再到RGB工程,所謂RGB工程就是在開口部形成R、G、B三色圖案的工程,首先將著色為R的彩色光阻以Spin涂裝,經(jīng)由R用圖案光罩,照射紫外線并曝光,再使用堿性系顯影劑將未曝光部份去除,形成*顏色用的R圖案,再施于攝氏200度以上的后烤(Post Coating),使圖案具有耐藥性,接著以形成R圖案相同的工程重復(fù)在G及B上,各圖案之間均有黑色矩陣加以隔開,此功能是為增加顯示時(shí)之對比度及避免雜色光產(chǎn)生,接著,在后工程方面,是形成TFT Array基板之相對電極的ITO透明電極層,即為彩色濾光片,zui后,出貨工程即為zui后檢查及捆包。
彩色濾光片制程技術(shù)關(guān)鍵須注意的是RGB三色間的段差,段差會影響到液晶表現(xiàn),段差如過大則顯示會有斷層產(chǎn)生,另外,RGB工程為高溫制程,因此原材料選擇須有耐藥性不會發(fā)生衰退,再則BM主要為隔絕RGB三顏色,為提高顏色對比的關(guān)鍵,且BM一般均要求低反射,反射愈低愈好,色彩表現(xiàn)也會愈好。