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更新時(shí)間:2024-08-23 14:27:06瀏覽次數(shù):15174評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,電氣 |
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開爾文探針掃描系統(tǒng)-半導(dǎo)體表征
我們的開爾文探針系統(tǒng)包括:
□ 單點(diǎn)開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);
□ 掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);
□ 超真空(UHV)開爾文探針;
□ 濕度控制的腐蝕開爾文探針;
開爾文探針掃描系統(tǒng)-半導(dǎo)體表征 配置
這是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的掃描開爾文探針系統(tǒng),它是在ASKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機(jī)/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置,其規(guī)格如下:
□ 2毫米,50微米探針;
□ 功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);
□ 針尖到樣品表面高度可以達(dá)到400納米以內(nèi);
□ 表面勢(shì)和樣品形貌3維地圖;
□ 探針掃描或樣品掃描選配;
□ 彩色相機(jī)、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置;
□ 參考樣品(帶相應(yīng)的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌);
□ 備用的針尖放大器;
□ 24個(gè)月超長(zhǎng)質(zhì)保期;
儀器的特色
□ 商用的*意義上的開爾文探針系統(tǒng);
□ 高分辨率的功函數(shù)和表面勢(shì),的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性;
□ 非零技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)在高信號(hào)水平下工作,與基于零信號(hào)原理(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比,不會(huì)收到噪聲的影響擁有高靈敏度;
□ 高度調(diào)節(jié)技術(shù) ——我們的儀器在測(cè)量和掃描時(shí)可以控制針尖的高度。因?yàn)楣瘮?shù)受樣品形貌的影響,針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會(huì)漂移;
□ 該領(lǐng)域內(nèi),擁有的信噪比;
□ 快速響應(yīng)時(shí)間 ——測(cè)量速度在0.1-10秒間,遠(yuǎn)快于其他公司產(chǎn)品;
□ 功能強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動(dòng)器,與通常的壓電驅(qū)動(dòng)器相比,VC驅(qū)動(dòng)器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作;
□ 所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制;
ON | 非零探測(cè) Off Null detection |
HR | 高度調(diào)節(jié)模式 Height Regulation mode |
SM | 實(shí)際開爾文探針信號(hào)監(jiān)控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
UC | 用戶通道,同時(shí)測(cè)量外部參數(shù) User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
DC | 電流探測(cè)系統(tǒng)去除漂移效應(yīng) Current Detection system rejects stray capacity effects |
PP | 平行板震動(dòng)模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
SA | 信號(hào)平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
WA | 功函數(shù)平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
DC | 所有探針及探測(cè)參數(shù)的數(shù)字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
QT | 針尖快速改變 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
DE | 數(shù)據(jù)輸出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
OC | 輸出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
FC | 法拉第籠(電磁干擾防護(hù)罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
RS | 金-鋁參考樣品 Gold-Aluminium Reference Sample |
額外選配項(xiàng) | |
SPV | 表面光伏電壓軟硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
RH | 相對(duì)濕度腔 Relative Humidity Chamber |
AC | 控制氣體進(jìn)口的環(huán)境單元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
EDS | 外部數(shù)據(jù)示波鏡 External Digital Oscilloscope |
OPT | 彩色相機(jī) Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
ST | 針尖置換 Replacement Tips |
GCT | 鍍金的針尖替換 Gold Coated Replacement Tips |
XYZ | 25.4毫米手動(dòng)3維控制臺(tái) 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
應(yīng)用領(lǐng)域
吸附,電池系統(tǒng),生物學(xué)和生物技術(shù),催化作用,電荷分析,涂層,腐蝕,沉積,偶極層形成,顯示技術(shù),教育,光/熱散發(fā),費(fèi)米級(jí)掃描,燃料電池,離子化,MEMs,金屬,微電子,納米技術(shù),Oleds,相轉(zhuǎn)變,感光染色,光伏譜學(xué),高分子半導(dǎo)體,焦熱電,半導(dǎo)體,傳感器,皮膚,太陽(yáng)能電池,表面污染,表面化學(xué),表面光伏,表面勢(shì),表面物理,薄膜,真空研究,功函數(shù)工程學(xué);
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