目錄:TESCAN泰思肯貿(mào)易(上海)有限公司>> FERA3雙束掃描電鏡FERA3雙束掃描電鏡
價格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 冷場發(fā)射 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保 |
FERA3雙束掃描電鏡離子束流高達 2 µA,因此其濺射速度是傳統(tǒng) Ga 離子源的 50 倍以上,這使得 FERA3 成為完成耗時過長或幾乎不可能實現(xiàn)的大體積銑削任務(wù)的理想設(shè)備。
在 FIB-SEM 系統(tǒng)中,電子和離子束的焦點可以重合,從而可以對多種實際應(yīng)用進行優(yōu)化。這一特征使得其在 FIB 銑削任務(wù)期間能夠同時進行 SEM 成像——這使得在完成*精度要求的 FIB 操作時,性能和吞吐量都有了巨大飛躍。同時,F(xiàn)ERA3 配備有高性能的電路系統(tǒng)以用于更快的圖像采集,超快速的靜態(tài)和動態(tài)圖像畸變補償掃描系統(tǒng)以及用戶自定義內(nèi)置應(yīng)用程序腳本等。
FERA3雙束掃描電鏡
高電子回旋共振(High-ECR)產(chǎn)生的 Xe 等離子源 FIB 鏡筒,可完成 Ga 離子源 FIB 在納米工程領(lǐng)域不能完成的任務(wù)
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