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通常把離子束斑大于10μm 以上的，稱為非成像宏觀探針（nonimaging macroprobes） ；把離子束斑小于10nm 的稱為離子微探針（microprobes）。
離子探針儀器的四個(gè)分類和應(yīng)用：就成像技術(shù)而言，可分為掃描型離子微探針（scanning ion microprobes） 和攝像型離子探針。前者的一次離子束斑直徑較小，（φ≤1μm），并在樣品上掃描，類似于掃描電鏡（SEM）和掃描俄歇微探針（SAM），也叫離子微探針。中國(guó)賣儀器網(wǎng)后者是一次離子束斑較大（φ～300μm ） ，并靜止不動(dòng)，而二次離子光學(xué)（secondary ion optics）掃描成像，也叫離子顯微鏡（ion microscope），空間分辨率～0.2μm 。
在離子探針迅速發(fā)展中，要說明或列出所有不同的儀器是不可能的。概括地說，可以分為以下幾類。
1.非成像離子探針
2.離子顯微鏡
3.掃描離子微探針
4.圖像解剖離子探針（image dissecting ionprobes）
離子探針儀器的應(yīng)用
像離子探針適用于許多不同類型的樣品。下面是給出一些代表性例子。
一、金屬樣品
這是理想的樣品，不會(huì)荷電。提出首先可用SEM 直接找出感興趣的分析區(qū)。使用剖面樣品和使用掃描離子探針，沿剖面線掃描的方法是一種有用的技術(shù)，可作為動(dòng)態(tài)SIMS 的補(bǔ)充?？捎糜诮饘傺趸锍砷L(zhǎng)、腐蝕、焊接、應(yīng)力失效斷裂和晶粒間界偏析等方面的研究。
二、半導(dǎo)體器件
檢測(cè)摻雜分布剖面和層形結(jié)構(gòu)。隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，掃描離子探針分析越來越重要。
三、非導(dǎo)體樣品
高聚物和玻璃產(chǎn)品是典型絕緣樣品。為子解決荷電問題，火焰光度計(jì)已開發(fā)出了微聚焦掃描原子束，可以對(duì)絕緣樣品產(chǎn)生高質(zhì)量的離子像。但當(dāng)橫向分辨率需優(yōu)于5μm 時(shí)，上述源就不能滿足要求了。此時(shí)仍需用聚焦微離子束。這方面己成功地得到了家蠅復(fù)眼的離子像。應(yīng)用的另一個(gè)領(lǐng)域是復(fù)合材料，尤其是研究這類材料破裂界面的情況。
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