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四探針電阻率測試儀參數(shù)：

數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV  靈敏度：100μV  輸入阻抗：1000ΜΩ
                   基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度）
可測電阻率范圍：103 —10-3Ω•cm。
可測方塊電阻范圍：104 —10-2Ω/□。
設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。
 流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。
電流量程分四檔：100μA、1mA、10mA、100mA。
四探針電阻率測試儀采用觸點電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10萬次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。