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拔插式四探針頭技術(shù)指標(biāo)
1、 游移率
拔插式四探針頭適用范圍
1、 測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻。
2、 測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。
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