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          目錄:孚光精儀(中國(guó))有限公司>>激光微納加工系統(tǒng)>>紫外曝光機(jī)>> FPMIC-aligner紫外曝光機(jī)

          紫外曝光機(jī)
          • 紫外曝光機(jī)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌 其他品牌
          • 型號(hào) FPMIC-aligner
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 所在地 上海市
          屬性

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          更新時(shí)間:2024-04-02 09:01:58瀏覽次數(shù):1918評(píng)價(jià)

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          這款紫外曝光機(jī)非常適合對(duì)紫外光敏感層曝光處理,是理想的紫外掩膜曝光機(jī)系統(tǒng)和掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī),mask aligner.廣泛用于光學(xué),生物,微納科技,光刻等領(lǐng)域需要1-2掩膜的應(yīng)用。

          這款紫外曝光機(jī)非常適合對(duì)紫外光敏感層曝光處理,是理想的紫外掩膜曝光機(jī)系統(tǒng)和掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī),mask aligner.紫外曝光機(jī)廣泛用于光學(xué),生物,微納科技,光刻等領(lǐng)域需要1-2掩膜的應(yīng)用。

          紫外掩曝光機(jī)特點(diǎn)

          1)*的單色曝光,曝光帶寬小于10nm;

          2)冷紫外曝光,襯底環(huán)境溫度實(shí)時(shí)控制,從而實(shí)現(xiàn)均勻曝光,消除熱效應(yīng);

          3)*的功率密度

          4) 紫外LED壽命更長(zhǎng),高達(dá)10000小時(shí);

          5)方便用戶使用的觸摸屏配置;

          6) 不需要預(yù)熱;

          7)計(jì)算機(jī)控制紫外光源強(qiáng)度調(diào)節(jié);

          8)自動(dòng)晶圓裝載和卸載功能;

          9)超低能耗;

          紫外掩曝光機(jī)參數(shù)

          分辨率:2微米

          發(fā)射光譜:365+/-5nm,  385+/-5nm
          4英寸晶圓照明: 25mW/cm^2 +/-10%

          暴曬時(shí)晶圓溫度加熱:<1攝氏度
          暴曬循環(huán):1秒~18小時(shí)
          記憶的曝光循環(huán)數(shù): 10個(gè)

          功率:180W

          重量:8.2kg

          尺寸: 260x260x260mm^2
          電源: 110V/230v50Hz



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