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10nm超低震動4K變溫系統(tǒng) 液氦極低溫
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- 北京錦正茂科技有限公司
- 256000 (具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn))
- 2024-10-11 16:13:34
- 北京市
- 218
【詳細說明】
一、概述:
系統(tǒng)組成:
該系統(tǒng)由氦制冷機、氦壓縮機、水冷機、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機支架、樣品臺、樣品卡等附件共同構(gòu)成。10nm超低震動4K變溫系統(tǒng) 液氦極低溫
產(chǎn)品特點:
1.制冷量:一級制冷7W@45K,二級制冷1.0W@4K,所需電為380V,50Hz。
2.工作壓力:<2×10-4Pa;正常生產(chǎn)時,會經(jīng)過氦氣質(zhì)譜檢漏儀撿漏,真空度可以達到10-4Pa,(可選10-6Pa)依據(jù)泵的極限真空而定。
3.溫度監(jiān)控:樣品臺處設(shè)置一處溫度測量點,監(jiān)控并顯示樣品處的溫度。測溫精度±0.01K。
4.樣品降溫和升溫時間:制冷至4K的時間小于2.2h(腔室加大后會延長制冷時間),制冷關(guān)機后在真空下恢復(fù)到常溫的時間小于3h,該裝置采用無液氦閉循環(huán)制冷機制冷,制冷量為4K@1.0W,無負載是降溫到70K所需時間為60min,當(dāng)安裝上負載后,考慮到負載以及相關(guān)支撐裝置的冷卻,制冷時間會相應(yīng)的加長,但是依據(jù)經(jīng)驗,該降溫時間大約在1.2h,滿足實驗要求。
5.集成控制系統(tǒng):控制真空系統(tǒng)、制冷機的運行及安全反饋功能。可設(shè)置和顯示工作目標(biāo)參數(shù)和系統(tǒng)工作狀態(tài),具備反饋安全控制功能。10nm超低震動4K變溫系統(tǒng) 液氦極低溫
技術(shù)指標(biāo):
震動量:<10nm
變溫范圍:4.5K-325K (零下269.15℃-零上51℃)
測溫精度:0.01℃
真 空 度:10-4pa
光學(xué)窗口:2只(可定制)
窗口材料:熔融石英
輸出電極:8根
二、操作流程
1:將按照所需要做的實驗進行安裝相應(yīng)的卡具。安裝完成后按照圖紙將系統(tǒng)組件完畢。
2:使用分子泵組將分子泵組的分子泵抽氣端口和真空腔體的KF25的真空抽氣口用焊接波紋管連接在一起,打開波紋管上的高真空擋板閥,開啟分子泵組,將系統(tǒng)內(nèi)的真空度降至低于2X10-4Pa,關(guān)閉擋板閥移除波紋管(若實驗時不礙事可以不進行拆除);
3:連接控溫儀,開啟壓縮機,對系統(tǒng)內(nèi)的進行降溫,降溫至4K以下。在控溫儀上顯示附近的溫度,以及冷頭處的溫度。
4:測試完成后,關(guān)閉壓縮機,等待系統(tǒng)自動升溫。
熱仿真分析
在降溫至4K時,制冷機的功率為1.2W,此時對整個所處環(huán)境進行熱仿真分析,具體分析結(jié)果如下圖。
根據(jù)熱仿真結(jié)果可知,在4.2K時,溫度均勻一致。
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