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          FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器計(jì)

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          • FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器計(jì)
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          更新時(shí)間:2017-07-08 09:04:15瀏覽次數(shù):594

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          FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器計(jì)是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

          詳細(xì)介紹

          產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
          siargo ltd FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器計(jì)是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
          FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn):
            - 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
            - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
            - 感器的高精度計(jì)量
            - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
            - 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
            - 全量程高穩(wěn)定性
            - 全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
            - 低功耗
            - 低壓損
            - 響應(yīng)時(shí)間快
          FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器計(jì)主要參數(shù):

          性能參數(shù)

          FS4001

          單位

          1.0

          1.8

          mm

          zui大流量

          30, 100, 200

          500, 1000

          SLPM

          量程比

          >1001

           

          ±(1.5+0.2FS)

          %

          重復(fù)性

          0.25

          %讀數(shù)

          零點(diǎn)輸出飄移

          ±30

          mV

          輸出飄移

          ±0.12

          %/oC

          響應(yīng)時(shí)間

          4, 8, 16, 33 , 65 , 131

          mses

          工作電源

          8~18Vdc,50mA

           

          輸出方式

          線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

           

          zui大流量壓損

          350

          300

          pa

          zui大工作壓力

          0.5

          MPa

          工作溫度

          -10 ~ +55

          oC

          存儲(chǔ)溫度

          -20 ~ +65

          oC

          工作濕度

          <95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)

           

          機(jī)械接口

          可拆式軟管接頭

           

          校準(zhǔn)方式

          空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa

           

          重量

          15

          g

          :蔡       

          北京市FS4001系列微型氣體流量計(jì) 天津市FS4001系列微型氣體流量計(jì) 上海市FS4001系列微型氣體流量計(jì) 重慶市FS4001系列微型氣體流量計(jì)

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