目錄:上海維翰光電科技有限公司>>金相顯微鏡>>工業(yè)檢測金相顯微鏡>> 研究級金相顯微鏡VMX6L
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 正置 |
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價格區(qū)間 | 面議 | 配備圖像分析系統(tǒng) | 是 |
應用領域 | 化工,石油,地礦,電子,交通 |
研究級金相顯微鏡VMX6L大行程移動工作平臺,長工作距半復消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業(yè)檢測。
產(chǎn)品特點
1、VMX4L / VMX6L可以實現(xiàn)X、Y方向105mm-158mm的移動范圍。
2、全*設計的長工作距專業(yè)金相物鏡,成像效果更*越。
3、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。
4、附件齊全,配置完善,可靈活進行系統(tǒng)組合與功能拓展。
5、人機工程學設計、堅實可靠的系統(tǒng)結構。
觀察圖實例
豐富的觀察方式,滿足您的檢測需求
DIC微分干涉觀察
研究級金相顯微鏡VMX6L在正交偏光的基礎上 , 插入DIC棱鏡,即可進行DIC微分干涉觀察。使用DIC技術 ,可以使樣品表面微小的高
低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,*大的提高圖像的對比度??善ヅ鋷IC功能的物鏡,使整個視場的干涉色一致,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。
產(chǎn)品結構設計
安全、穩(wěn)重的機架結構設計
1、工業(yè)檢測級顯微鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架,*大的提高的系統(tǒng)的抗振能力與成像的穩(wěn)定性。
2、前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構,內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可以適應不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。
3、MX6R機型底座內(nèi)部設有風循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱。
高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
1、VMX機型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設計,轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制,根據(jù)MX系列機型配置及功能的不同,可以選擇不同型號的轉(zhuǎn)換器。
2、PI103C51型:明場5孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽,用于VMX4L/VMX4LT機型。
3、PI115C6BDI型:明暗場6孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽,用于VMX6L/VMX6LT機型。
不同的照明器可供選擇
1、明場反射照明器:單顆大功率5W暖色LED照明,適用于VMX4L/VMX4LT機型。
2、明場反射照明器:柯拉照明系統(tǒng),帶視場光闌與孔徑光闌,中心可調(diào);帶斜照明裝置,適用于VMX4L/VMX4LT機型。
3、明暗場反射照明器:帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調(diào);帶明暗場照明切換裝置,適用于MX6R/MX6RT機型。
4、透射照明: VMX系列均可使用透反兩用機型。透射光源為單顆大功率5W暖色LED, 并帶有N.A.0.5聚光鏡。
5、透射照明與反射照明可獨立控制,即透反照明可同時開啟,亦可單獨開啟。
大行程移動平臺設計
1、VMX系列機型采用4〃/6〃平臺設計,不僅適用于相應尺寸的晶圓及FPD檢測,而且可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
2、VMX4L/VMX4LT:4英寸雙層機械移動平臺,移動范圍105mm×105mm;VMX6L/VMX6LT:6英寸三層機械移動平臺,反射照明移動范圍158mm×158
3、mm,透射照明移動范圍100mm×100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動。
4、通過使用平臺適配接口,所有平臺可在VMX系列機型之間通用。
超長工作距金相物鏡
1、全*設計的長工作距物鏡,采用半復消色差技術,其使用的多層寬帶鍍膜技術,使整個視場內(nèi)的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。
2、長工作距設計,50X物鏡的有效工作距離7.9mm,100X物鏡的有效工作距離也達到了 2.1mm,更有20X超長工作距金相物鏡,大幅拓展了VMX機型的同步設計了全套明暗場兩用物鏡,適用于 VMX6L 機型,暗場照明亮度比傳統(tǒng)暗場物鏡提高 2 倍以上。
無限遠鉸鏈式三目觀察頭
1、ETTR型正像鉸鏈三目觀察頭,所成像的方位與物體實際方位一致,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于使用者觀察與操作。適用于6英寸移動平臺配合使用。
2、VMX4LTH30R型鉸鏈三目觀察筒,適用于4英寸平臺配合使用。
3、兩種類型的觀察筒可以在VMX機型內(nèi)通用。
產(chǎn)品技術參數(shù)
產(chǎn)品尺寸