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北京慧龍環(huán)科環(huán)境儀器有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 奧立龍水質(zhì)分析儀,WTW水質(zhì)分析儀 |
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GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀
| 參考價(jià) | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號(hào) GSL-1700X-SPC-2
- 品牌 合肥科晶
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 所在地 國(guó)外
更新時(shí)間：2022-11-21 09:27:48瀏覽次數(shù)：1440
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GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品概述：
GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺(tái)式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀，可以設(shè)定程序，精確控制溫度200ºC~1500ºC（或者1200ºC~1700ºC），樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
結(jié)構(gòu)&特點(diǎn)：
- 真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品
- 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，并且樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻
- 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，高溫度可達(dá)到1500℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品
- 精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃
- 氣體流量端口和閥門(mén)內(nèi)置用于腔室凈化和CVD可能性
基本參數(shù)：
- 溫度：高1500℃（1200℃以上＜1h）
- 建議升溫速率：≤20℃/ min（需根據(jù)工藝調(diào)整）
- 熱偶：B型或者S型熱偶
- 電源：AC220V，50Hz
- 大：6KW
溫控及加熱源：采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測(cè)量和控制
- 采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃）
- 可選B型熱電偶（工作溫度為1200℃-1700℃）
- 安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖2）
- 溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以秒為單位，建議將升溫/降溫速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min）
儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝
樣品臺(tái)：
- 儀器頂部安裝有樣品臺(tái)，直徑為Φ50mm，并設(shè)置有擋板，方便控制蒸發(fā)鍍膜時(shí)間
- 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，增加鍍膜均勻性
- 樣品臺(tái)和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)
進(jìn)氣口：
- 進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜
- 進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量
- 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀-GSL-1700X-EV4
- 儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝，并用戶可額外選購(gòu)鎢絲籃及氧化鋁坩堝
真空計(jì)（可選）：可選購(gòu)一數(shù)顯防腐真空計(jì)，測(cè)量范圍為：3.8x10-5-1125Torr
膜厚檢測(cè)儀（可選）：
- 可在本公司選購(gòu)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在濺射儀上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å
- LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
- 同時(shí)可選購(gòu)反射光譜薄膜測(cè)厚儀--TFMS-LD
真空系統(tǒng)：
- 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵
- 采用渦旋分子泵真空可達(dá)1.0E-5Torr，極限真空度可達(dá)4.0E-6Torr
- 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr
- 真空度達(dá)到10-2torr時(shí)，可蒸發(fā)一些貴金屬，參考材料金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料，可選購(gòu)數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG-554(測(cè)量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.)
- 高真空度可達(dá)1.0E-5Torr（采用渦旋分子泵），此時(shí)可蒸發(fā)對(duì)氧敏感的材料，參考材料Al. Mg, Li，分子泵上帶有復(fù)合真空計(jì)
- （高可測(cè)量真空度為1.0E-7Torr）
- 可在本公司選購(gòu)各種真空泵和真空計(jì)
- 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱，以避免真空泵造成污染
外形尺寸：490mm*330mm*560mm
質(zhì)量認(rèn)證：所有電器元件（>24V）都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
使用提示：
- 為了獲得高真空度，可采用以下做法
- 此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作，用于蒸鍍一些在常溫下對(duì)氧氣敏感的材料，比如金屬Li等，可在本公司選購(gòu)開(kāi)啟式手套箱VGB-6
使用注意事項(xiàng)：
- 使用溫度高于1300℃時(shí)，保溫時(shí)間不可大于1小時(shí)，否則會(huì)損壞密封圈
- 當(dāng)腔體的各閥門(mén)關(guān)閉時(shí)，請(qǐng)勿開(kāi)啟升溫程序或手動(dòng)調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱
- 當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時(shí)，不可打開(kāi)泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時(shí)，才可放氣或關(guān)閉真空泵
- 蒸鍍電流不宜大于40A
- 如誤將控溫儀表設(shè)為手動(dòng)狀態(tài)，程序?qū)⒉荒苷＿\(yùn)行
- 此設(shè)備儀表程序?yàn)槊耄?00℃之前升溫速度不宜大于0.5℃/S
- 如果用戶選購(gòu)了STC-2型薄膜測(cè)厚儀，在選用取樣片時(shí)請(qǐng)按：鍍純金屬時(shí)用金取樣片，鍍合金時(shí)用銀取樣片
- 鎢絲籃必須在真空狀態(tài)下（＜5Pa才能通電加熱，否則會(huì)被氧化）
GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀
