高純氬分析色譜儀都能表現(xiàn)出怎樣的性能特點(diǎn)？

時(shí)間：2021/10/19閱讀：1487

　　高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可作為惰性氣體用于系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓；它用于化學(xué)氣相沉積、濺射和退火。高純氬氣也可用作色譜載氣。氬氣廣泛用于填充弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護(hù)氣體；在鈦、鈷等活性金屬的生產(chǎn)中用作保護(hù)氣體；用于黑色冶金中特殊鋼的轉(zhuǎn)化。

　　高純氬分析色譜儀采用加氬放電電離檢測(cè)器，主要用于高純氬和超純氬中H2、O2、N2、CH4、CO和CO2的分析。所有連接接口均采用1/8"VCR，保證儀器的氣密性。安裝的閥門經(jīng)過嚴(yán)格的泄漏測(cè)試，安裝在帶有Ar氣吹掃的外殼內(nèi)，與大氣*隔離。因此，環(huán)境污染以確保儀器具有更高的穩(wěn)定性、靈敏度和更長的使用壽命。

　　高純氬分析色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體和電子工業(yè)氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。高純氬氣專用色譜儀配備氬離子化（AID）檢測(cè)器采用6通或10通閥，帶吹掃保護(hù)氣路。以上部件與凈化器、無死體積進(jìn)樣閥等組成一整套高純氣體分析整體及解決方案。

　　高純氬分析色譜儀的性能特點(diǎn)：

　　1、4.3英寸觸摸屏液晶中文顯示，實(shí)時(shí)顯示各通道溫度和運(yùn)行情況；

　　2、開機(jī)自檢，五級(jí)獨(dú)立控溫；

　　3、任何傳感器開路，儀器自動(dòng)顯示并報(bào)警；

　　4、高精度雙穩(wěn)定氣路，可同時(shí)安裝四個(gè)檢測(cè)器；

　　5、四個(gè)外部事件功能支持多閥切換；

　　6、可選擇電子流量壓力顯示系統(tǒng)和內(nèi)置工作站設(shè)備。

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