高純氣體的分析是一個復(fù)雜的過程,也是色譜分析的難點之一;不僅需要高靈敏度的檢測器,還需要了解樣品本身的特性和背景,如吸附、取樣和分析過程中是否有空氣混合,系統(tǒng)的密封性等環(huán)節(jié)。氦離子氣相色譜儀成為專業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng),完善氣體中痕量雜質(zhì)的分析,尤其是ppb級雜質(zhì)。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。儀器配備高靈敏度氦電離(PDHID)檢測器;采用華愛色譜四閥五柱中心切割反吹技術(shù)。進樣閥采用六通或十通閥帶吹掃保護氣路,配以氦氣凈化器、無死體積進樣閥等組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案。
1、采用以太網(wǎng)通訊接口,色譜工作站軟件可同時支持多臺色譜儀。并且儀器制造商可以通過互聯(lián)網(wǎng)連接現(xiàn)場儀器,實現(xiàn)遠程診斷。
2、可配備高精度電子壓力/流量顯示與控制系統(tǒng)(EPC)。
3、可安裝zui多3個檢測器,F(xiàn)ID、TCD、ECD、FPD、PDHID、PID可選。
4、色譜工作站軟件支持Modbus/TCP協(xié)議,可方便地將數(shù)據(jù)結(jié)果導(dǎo)入DCS系統(tǒng)。
5、具有斷氣保護功能,避免因工作斷氣或漏氣而損壞內(nèi)部元件。
6、具有FID滅火后自動點火功能。
7、氦離子氣相色譜儀采用不銹鋼隔膜注射/切換閥,死體積小,使用壽命長。
8、可根據(jù)用戶需要配備程序升溫柱式爐,滿足高通量分析的需要。