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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	產(chǎn)品種類	其他
價(jià)格區(qū)間	面議	介質(zhì)分類	液體
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè)

S48-300/HMT 質(zhì)量流量計(jì)

使用范圍

質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制。

1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。

質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。

1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

☆可任意角度安裝。

☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測量和計(jì)量。

S48-300/HMT 質(zhì)量流量計(jì)

S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

編號	項(xiàng)目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-100%F.S.
6	流量測量范圍	0-100%F.S.
7	響應(yīng)時(shí)間	≤ 1 sec
8	工作環(huán)境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復(fù)性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D)
14	耐壓	3MPa(G)
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s(He)
16	接觸氣體材料	316L，Viton? 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設(shè)定信號	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA
21	通訊接口	數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號可選范圍0-15
22	重量(kg)	0.9