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1、干涉顯微鏡的主要用途和特點(diǎn)
干涉顯微鏡是用來測(cè)量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器，也可以用來測(cè)量零件表面刻線，鍍層等深度。儀器配對(duì)各種附件，還能測(cè)量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時(shí)還能將儀器安置在工件上，對(duì)大型工件表面進(jìn)行測(cè)量。儀器測(cè)量表面不平深度范圍為1～0.03微米，用測(cè)微目鏡和照相方法來評(píng)定▽10～▽14光潔度的表面。
本儀器適用于廠礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究等單位。
2、干涉顯微鏡的技術(shù)參數(shù)
測(cè)量表面光潔度范圍（表面粗糙度） ▽ 10～ ▽ 14 工作物鏡的數(shù)值孔徑 0.65 工作距離 0.5毫米 儀器的視場(chǎng) 目視 φ0.25毫米 照相 0.21×0.15毫米 儀器的放大倍數(shù) 目視 500倍 照相 168倍 測(cè)微目鏡放大倍數(shù) 12.5倍 工作臺(tái)升程 5毫米 X、Y方向移動(dòng)范圍 ≈10毫米 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)范圍 360° 3、儀器成套性
1、儀器主體 1臺(tái)
2、10X測(cè)微目鏡 1件
3、狹縫目鏡 1件
4、V型塊 1件
5、6V、5W燈泡 6件
6、試樣夾 1件