顯微光譜分析又稱微區(qū)光譜分析，是通過(guò)光學(xué)顯微鏡等輔助光學(xué)設(shè)備，采集微小區(qū)域的光信號(hào)進(jìn)行樣品光譜分析的一種方法。

顯微光譜分析是對(duì)比普通光譜分析而言。通常普通光譜分析是指普通光纖光譜儀通過(guò)光纖將光信號(hào)導(dǎo)入光譜之中。但是由于光纖收集的是發(fā)散光(一般光譜光纖數(shù)值孔徑為0.22)，因此普通光纖光譜儀僅能采集較大空間的光信號(hào)。測(cè)試信號(hào)并不理想。

后來(lái)，人們通過(guò)光學(xué)顯微鏡配合光纖光譜儀進(jìn)行樣品空間分辨分析使得樣品的空間分辨率得到了大大的提高。為了獲得更高的分辨率一方面是要提高顯微鏡的分辨率，另外一方面是要提高光纖光譜儀的性能和兩者之間的配合性能。