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FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

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所在地 北京市

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應(yīng)用領(lǐng)域:環(huán)保,化工,電子

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FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備針對(duì)中小尺寸的需求開(kāi)發(fā)串集的PVD 設(shè)備，擁有4個(gè)單獨(dú)的濺鍍腔體，讓客戶能任意搭配沉積的材料，同時(shí)保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

隨著LCD面板和製造所需玻璃的尺寸的增加，製造設(shè)備也隨著變得更大，需要越來(lái)越大的設(shè)備投資。SYSKEY針對(duì)中小尺寸的需求開(kāi)發(fā)串集的PVD 設(shè)備，擁有4個(gè)單獨(dú)的濺鍍腔體，讓客戶能任意搭配沉積的材料，同時(shí)保有彈性和具有選擇性的系統(tǒng)。

FPD-PVD磁控濺鍍?cè)O(shè)備

應(yīng)用領(lǐng)域
TFT-LCD。太陽(yáng)能電池。觸碰屏。氧化物、氮化物和金屬材料的研究。
配置和優(yōu)點(diǎn)	選件
客製化基板尺寸最大為550 x 650 mm²(玻璃)。優(yōu)異的薄膜均勻度小於±5％。穩(wěn)定的溫度控制，可將基板加熱到400°C。	Cassette傳送站。基材電漿清潔。 OES、RGA或製程監(jiān)控的額外備用端口。

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