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          目錄:北京瑞科中儀科技有限公司>>沉積系統(tǒng)>> 原子層沉積系統(tǒng)

          原子層沉積系統(tǒng)
          • 原子層沉積系統(tǒng)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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          • 型號(hào)
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 所在地 北京市
          屬性

          應(yīng)用領(lǐng)域:環(huán)保,化工,電子

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          更新時(shí)間:2024-07-10 13:48:33瀏覽次數(shù):594評(píng)價(jià)

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          原子層沉積系統(tǒng)是基于順序使用氣相化學(xué)過程的最重要技術(shù)之一;它可以被視為一種特殊類型的化學(xué)氣相沉積(CVD)。多數(shù)ALD反應(yīng)使用兩種或更多種化學(xué)物質(zhì)(稱為前驅(qū)物,也稱為"反應(yīng)物“)。

          原子層沉積系統(tǒng)ALD 用於薄膜沉積的原子層沉積是基於順序使用氣相化學(xué)過程的最重要技術(shù)之一;它可以被視為一種特殊類型的化學(xué)氣相沉積(CVD)。多數(shù)ALD反應(yīng)使用兩種或更多種化學(xué)物質(zhì)(稱為前驅(qū)物,也稱為“反應(yīng)物")。這些前驅(qū)物以一種連續(xù)的且自我限制的方式,一次與一種材料的表面反應(yīng)。通過多個(gè)ALD循環(huán),薄膜被緩慢沉積。 ALD為製造半導(dǎo)體元件的重要製程,並且是可用於合成納米材料主要工具的一部分。

          原子層沉積系統(tǒng)ALD具有許多優(yōu)點(diǎn),例如出色的均勻性,在複雜形狀的基板表面上沉積的具有相同膜厚的膜保形性,低溫處理。因此,ALD被應(yīng)用於微電子,納米技術(shù)和生物技術(shù)領(lǐng)域中,這些領(lǐng)域經(jīng)常在有機(jī)和生物樣品之類的軟基底。上工作。


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