M9601A PXIe 精密型源表模塊，1.25 MSa/s，10 fA，210 V，315 mA

Keysight M9601A 是一款 PXIe 精密型源表模塊（SMU），可同時(shí)輸出并測(cè)量電壓和電流。它可以提供 10 fA 至 315 mA 的電流和 500 nV 至 210 V 的電壓，并能精確測(cè)量從直流到 20 μs 脈沖的信號(hào)，采樣率高達(dá) 125 MSa/s。這些優(yōu)勢(shì)使 M9601A 成為各種高分辨率和高精度電流與電壓（IV）測(cè)量任務(wù)的理想選擇。有了它，您現(xiàn)在可以對(duì)半導(dǎo)器、有源/無源器件以及通用電子設(shè)備執(zhí)行精確表征、參數(shù)/可靠性測(cè)試。

主要特性與技術(shù)指標(biāo)：KEYSIGHT M9601A PXIe 精密型源表模塊

• 綜合的對(duì)稱四象限源表功能

• 最大輸出：210 V/315 mA

• 最小分辨率：500 nV/10 fA

• 低電流測(cè)量噪聲：30 fArms@1PLC

• 窄脈沖測(cè)量功能：最窄 20 μs

• 1.25 MSa/s 采樣率的高速采樣測(cè)量

主要規(guī)格：KEYSIGHT M9601A PXIe 精密型源表模塊

概述：

集成的信號(hào)源和測(cè)量功能簡(jiǎn)化了具有挑戰(zhàn)性的 IV 測(cè)量任務(wù) M9601A PXIe SMU 將不同的信號(hào)源和測(cè)量功能集成到一個(gè) PXIe 模塊中（請(qǐng)參閱圖 1）。它可以用作無縫對(duì)稱的 4 象限精密電壓/電流源、電氣負(fù)載、精確的電壓/電流計(jì)和脈沖發(fā)生器。其多功能的多合一集成源和測(cè)量功能使其能夠執(zhí)行從直流到脈沖的各種測(cè)量，而無需更改連接或使用其他設(shè)備。由于 SMU 可以非常精確地測(cè)量其電流和電壓輸出，因此與傳統(tǒng)電源相比，它們具有許多優(yōu)勢(shì)。所有 SMU 都具有內(nèi)部反饋環(huán)路，可向源極電路提供瞬時(shí)反饋，這使得 SMU 輸出即使在負(fù)載條件意外變化時(shí)也能保持準(zhǔn)確和穩(wěn)定。SMU 還具有電壓和電流限制（合規(guī)性）功能，允許您設(shè)置限制以保護(hù)設(shè)備免受電壓或電流過大造成的損壞。

低電流測(cè)量噪聲性能可縮短測(cè)量時(shí)間 低測(cè)量噪聲性能對(duì)于低電平測(cè)量以及高測(cè)量分辨率能力非常重要。通常使用較長(zhǎng)的孔徑時(shí)間來消除測(cè)量噪聲，特別是對(duì)于小電流測(cè)量，但測(cè)量時(shí)間會(huì)相應(yīng)變長(zhǎng)。Keysight M9601A 在 1 個(gè)電力線周期 （PLC） 孔徑時(shí)間（50 Hz 電力線頻率下）可實(shí)現(xiàn) 30 fArms 的噪聲水平，比傳統(tǒng) PXIe SMU 在相同條件（孔徑時(shí)間）下低 3 倍，比傳統(tǒng) PXIe SMU 模塊實(shí)現(xiàn)相同水平噪聲快 10 倍（參見圖 2 和 圖 3）。此功能使您能夠揭示設(shè)備的更多真實(shí)特性，并顯著縮短測(cè)量時(shí)間。